四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀型號(hào)： FT-331

一. 描述Description：
采用范德堡測(cè)量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語(yǔ)言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn)standard：
硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?
三.范圍Applicable scope：
于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量和系數(shù)補(bǔ)償，并帶有溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報(bào)表
用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試等相關(guān)產(chǎn)品

四.型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters

規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5～2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6～2×106Ω-cm
測(cè)試電流范圍
Test current 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度 Current accura±0.1%