激光干涉儀在不同環(huán)境的測(cè)量結(jié)果
但很多生產(chǎn)廠家的現(xiàn)場(chǎng)條件屬非標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境,達(dá)不到上述標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件要求,其操作人員的熟練程度和應(yīng)對(duì)條件變化的處置能力也有差距,其檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性就值得懷疑了。有些使用者用同一臺(tái)激光干涉儀檢測(cè)同一臺(tái)數(shù)控機(jī)床,上午檢測(cè)和下午檢測(cè)的結(jié)果竟相差10μm以上,不知該如何處理。
有些*曾用激光干涉儀對(duì)測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和數(shù)控機(jī)床的坐標(biāo)精度進(jìn)行檢定/校準(zhǔn)時(shí),也發(fā)現(xiàn)其測(cè)量結(jié)果與采用實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器(如二等標(biāo)準(zhǔn)線紋尺、二等量塊、精密步距規(guī)等)進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)的測(cè)量結(jié)果有很大差別,數(shù)值相差甚至大到10~20μm/1000mm。原因可能是多方面的,既有環(huán)境影響因素,如溫度變化梯度較大,也有人的操作方式不當(dāng)?shù)扔绊懸蛩兀踔吝€可能有儀器本身的溫度傳感器不夠穩(wěn)定或帖附位置不恰當(dāng)?shù)纫蛩赜绊?。所以在激光干涉儀使用中,有必要先用步距規(guī)進(jìn)行校對(duì)。校對(duì)方法很簡(jiǎn)單:把步距規(guī)當(dāng)做被檢測(cè)對(duì)象,用激光干涉進(jìn)行檢測(cè),如果測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值一致,說(shuō)明激光干涉儀在本環(huán)境條件和使用方式下可準(zhǔn)確使用。如果測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值相差較大,需對(duì)激光干涉儀進(jìn)行誤差修正,然后再用修正過(guò)的激光干涉儀再次測(cè)量步距規(guī),直至測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值一致或誤差小到可以忽略。
誤差修正的方法值得探討,可采用適當(dāng)修改初始溫度設(shè)定值或修改被測(cè)對(duì)象線膨脹系數(shù)設(shè)定值等方法,總之,誤差修正的目的是使再次校對(duì)時(shí),使激光干涉儀的顯示值等于或接近等于步距規(guī)的實(shí)際值。如此,可排除一些意想不到的影響激光干涉儀正確使用的因素,從而顯著提高激光干涉儀在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度(即減小測(cè)量結(jié)果的不確定度)。