上海譜閔工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理

2018-12-25  閱讀(243)

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【詳細(xì)說明】

普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理

普旭(Busch)是一家在范圍內(nèi)提供真空泵、鼓風(fēng)機(jī)和壓縮機(jī)的生產(chǎn)廠家。到2015年為止,普旭在范圍內(nèi)擁有3000名員工。廣泛的真空泵系列、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及廣泛的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),使得普旭(Busch)*有能力為客戶提供理想并完善的真空解決方案。

基本情況編輯

普旭(Busch)是真空泵、鼓風(fēng)機(jī)以及壓縮機(jī)的廠商之一。產(chǎn)品系列涵蓋了廣泛應(yīng)用于所有工業(yè)領(lǐng)域的真空和正壓技術(shù)解決方案。憑借在真空泵及低壓泵制造領(lǐng)域50多年的經(jīng)驗(yàn),普旭(Busch)可提供種類齊全的產(chǎn)品,為提供廣泛的工業(yè)真空技術(shù)。

普旭(Busch)創(chuàng)建于1963年,總部位于德國(guó)馬爾堡。普旭(Busch)在德

國(guó)、瑞士、美國(guó)、英國(guó)、韓國(guó)、捷克共擁有6家現(xiàn)代化制造工廠,連同遍布于43個(gè)主要工業(yè)國(guó)家的61家分公司及完善的經(jīng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)為用戶提供專業(yè)服務(wù)。

我們公司成立于1963年。我們?cè)?/span>40多個(gè)國(guó)家和地區(qū)擁有60多家公司,無論客戶身在何處,我們都能為客戶提供完善的建議和實(shí)際支持。

我們所有的產(chǎn)品都具有多種選項(xiàng)和*設(shè)計(jì)功能,以滿足各種應(yīng)用需求,因此我們的客戶可以從合適和具有成本效益的解決方案中受益。我們不斷評(píng)估我們的活動(dòng),以保持高標(biāo)準(zhǔn),并繼續(xù)開發(fā)定義真空系統(tǒng)應(yīng)用未來的創(chuàng)新技術(shù)。

我們的總部位于德國(guó)Maulburg,主要的德國(guó)制造工廠所在地。Maulburg也是德國(guó)銷售組織的所在地。Busch在瑞士,英國(guó),捷克共和國(guó),韓國(guó)和美國(guó)經(jīng)營(yíng)生產(chǎn)工廠。Busch集團(tuán)是一家家族企業(yè),由Busch家族成員管理。

Busch在擁有3,000多名員工,包括許多化學(xué)工程,機(jī)械工程和服務(wù)專家。憑借我們的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),我們?yōu)榭蛻籼峁┱婵毡煤拖到y(tǒng)的無縫服務(wù)。Busch服務(wù)技術(shù)人員和工程師在各個(gè)角落和許多行業(yè)維護(hù)真空系統(tǒng)-從北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亞的食品包裝。

干式螺桿真空泵的原理:

干式螺桿真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,未來具有極大的市場(chǎng)前景。

COBRASemicon干式螺桿真空泵

極限壓力:0.001-0.03hPambar

標(biāo)稱抽速50Hz70-7385m?/h

標(biāo)稱抽速60Hz85-7385m?/h

干式螺桿真空泵工作原理:

與螺桿式壓縮機(jī)類似,螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán),現(xiàn)在以其中一對(duì)齒來說明。

吸氣過程

陽轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),陰螺桿按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。

壓縮過程

轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里,陽轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。

排氣過程

螺桿泵的排氣過程,齒間容積與排氣孔口連通后,即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出,

COBRASemicon干式螺桿真空泵在半導(dǎo)體,太陽能模塊和平板顯示器生產(chǎn)等高要求工藝中以及眾多工業(yè)涂料應(yīng)用中使用效率*。

可靠

配備電機(jī),COBRASemicon螺桿真空泵具有出色的節(jié)能潛力。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)采用經(jīng)過驗(yàn)證的Busch螺桿型材(可選配額外的直接法蘭安裝的羅茨真空泵),使COBRASemicon成為功能強(qiáng)大,可靠且低維護(hù)的真空發(fā)生器。

面向應(yīng)用的

COBRASemicon螺桿真空泵有多種尺寸和型號(hào)可供選擇,可與任何工藝匹配。即使在空間有限的情況下,其緊湊的結(jié)構(gòu)也簡(jiǎn)化了安裝。這些泵具有同類產(chǎn)品中高的抽速,可提供大的產(chǎn)量(即使是氫氣)和對(duì)顆粒的廣泛耐受性。

COBRADS2610/3010E.

*螺絲設(shè)計(jì)

低運(yùn)營(yíng)成本,少的維護(hù),高正常運(yùn)行時(shí)間

靈活:

面向應(yīng)用

過程時(shí)間短:

由于抽速高

緊湊的設(shè)計(jì)

COBRADS2610/3010E是經(jīng)過驗(yàn)證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下,它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池,平板和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空泵技術(shù)可以將帶粉末和顆粒的介質(zhì)抽空。

COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮,專門開發(fā)的螺桿型材和*的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成,避免任何間隙,使得工藝流體或顆粒無法進(jìn)入,從而防止腐蝕。

COBRADS2610/3010E標(biāo)配集成真空助力器,可提供更高的抽速和極限壓力。前級(jí)泵和真空助力器組合在一個(gè)緊湊的底座上。

COBRADS2610/3010E配備電機(jī),具有出色的能效。由于維護(hù)要求低,運(yùn)行成本低,正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng),生命周期長(zhǎng),因此總體擁有成本非常低,為此性能等級(jí)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

由于采用嵌入式設(shè)計(jì),可以快速,輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)。

普旭COBRADS2610/3010E真空泵應(yīng)用:

高密度等離子體CVDHDP-CVD

快速熱處理(RTP

亞大氣壓CVDSACVD

金屬有機(jī)CVDMOCVD

等離子體增強(qiáng)CVDPECVD

低壓CVDLPCVD

原子層沉積(ALD

大容量負(fù)載鎖定

技術(shù)規(guī)格

COBRADS2610/3010E是螺桿真空泵和一個(gè)真空助力器。螺桿真空泵的氣缸內(nèi)的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在汽缸和螺桿室之間,被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過程中,螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)彼此接觸或與氣缸接觸。因此,壓縮室中不需要潤(rùn)滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用的間接水冷卻,可在整個(gè)泵體內(nèi)實(shí)現(xiàn)可控的溫度分布,并可響應(yīng)工藝變化。*螺桿設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*的泵送速度,從而排出氫氣。

普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同類產(chǎn)品其他型號(hào):

COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E

COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E

COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E

COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F

COBRABC0101FCOBRAB            C0101G

COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F

上海譜瑞特工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司竭誠(chéng)為您服務(wù),本公司所在的集團(tuán)在歐美多個(gè)設(shè)有分公司,于廠家關(guān)系非常和諧,可以去廠家直接拿貨,保證貨物質(zhì)量和貨期,優(yōu)惠的價(jià)格是我們的宗旨,良好的服務(wù)、給所有的客戶解決問題是我們的追求,歡迎與我們合作!

普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理



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