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ES622-50-ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)
  • ES622-50-ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)
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ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng),是一種先進(jìn)的 IV 曲線表征系統(tǒng),TLP 符合 ANSI/ESD STM 5.5.1標(biāo)準(zhǔn),旨在高功率時(shí)域中模擬 ESD 事件(TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脈沖)及監(jiān)控設(shè)備(半導(dǎo)體、分立器件、電路模塊等)。應(yīng)用于ESD 性能表征/晶圓/封裝級(jí)ESD測試系統(tǒng)/電路模塊ESD測試/安全操作區(qū)(SOA)測試/觸摸屏 ITO 微帶線熔斷和擊穿測試等

ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)

(含 HMM、HBM、MM 外部模塊)


1.描述

ES622 系列 TLP 脈沖 IV 曲線系統(tǒng)是一種先進(jìn)的 IV 曲線表征系統(tǒng),旨在高功率時(shí)域中模擬 ESD 事件(TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脈沖)及監(jiān)控設(shè)備(半導(dǎo)體、分立器件、電路模塊等)。ES622相比之前的ES620,規(guī)格更高,功能更多,擴(kuò)展能力更強(qiáng),軟件體驗(yàn)更佳。

傳輸線脈沖(TLP)測試功能旨在滿足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 測試標(biāo)準(zhǔn),并將高質(zhì)量矩形脈沖應(yīng)用于被測器件并記錄器件兩端的電壓和電流。可繪出脈沖 IV 曲線,允許用戶在納秒級(jí)時(shí)間窗口內(nèi)表征器件的瞬態(tài)響應(yīng)。設(shè)備集成了先進(jìn)的自動(dòng)器件故障檢測方法,例如:直流抽檢(V 或 I)、靜態(tài) IV 曲線、熔斷、擊穿和偏置源波動(dòng)。

VF-TLP 測試旨在模擬 CDM 速度 ESD 事件,并在高速(例如<100 ps 上升時(shí)間)ESD 瞬態(tài)下捕獲 DUT 兩端的電壓和通過 DUT 的電流。這允許用戶研究器件的響應(yīng)速度和峰值鉗位電壓。

人體金屬模型(HMM)測試功能是 IEC61000-4-2 系統(tǒng)級(jí) ESD 的替代測試方法。它為低歐姆設(shè)備提供了理想標(biāo)準(zhǔn)波形的等效波形,并消除了組件或晶圓級(jí)測試的許多 IEC 槍測試問題,例如可重復(fù)性、槍尖不精確、阻抗不匹配、來自非屏蔽繼電器的 EMI 干擾以及具有大接地平面和耦合平面的特殊裝置等。

2.特點(diǎn)

  • 可靈活配置的 TLP 脈沖 IV 曲線系統(tǒng)

  • 超緊湊的設(shè)計(jì)系統(tǒng)

  • 具有多線程處理能力的超快測試速度

  • 提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型號(hào)(可定制)

  • 可用軟件提供高級(jí)系統(tǒng)和附件監(jiān)控和控制
    (開關(guān)壽命監(jiān)視器、E-Cal 模塊、示波器衰減調(diào)整)

  • 測試功能可通過 VF-TLP、HMM、HBM、MM 選項(xiàng)進(jìn)行擴(kuò)展

  • 多種故障自動(dòng)檢測方式
    (直流抽檢(V 或 I)或 IV 掃描、熔斷、擊穿和偏置電流變化)

  • 軟件控制脈沖:突發(fā)、連續(xù)、IV 曲線表征

  • 上升時(shí)間選項(xiàng)從 40 ps 到 1200 ns(取決于型號(hào),可定制)

  • 脈沖寬度選項(xiàng)從 1 ns 到 2000 ns(取決于型號(hào),可定制)

注意*:EOS 系列支持更長的脈沖應(yīng)用,脈沖寬度從幾百 ns 到幾 ms。

3.應(yīng)用

  • ESD 性能表征

  • 晶圓/封裝級(jí)ESD測試

  • 系統(tǒng)/電路模塊ESD測試

  • 安全操作區(qū)(SOA)測試

  • 充電恢復(fù)時(shí)間測試

  • 太陽能電池板二極管特性

  • 觸摸屏 ITO 微帶線熔斷和擊穿測試

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):

  • TLP / VF-TLP 選項(xiàng)符合 ANSI/ESD STM 5.5.1標(biāo)準(zhǔn)

  • HMM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESD SP5.6標(biāo)準(zhǔn)

  • HBM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001標(biāo)準(zhǔn)

  • MM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESDA SP5.2標(biāo)準(zhǔn)

4.規(guī)格

ES622系列TLP單元規(guī)格表

參數(shù)ES622-20ES622-50ES622-100
ES622-125ES622-150單位*可根據(jù)要求提供特殊型號(hào),例如 40、100、200+ A
開路輸出電壓± 0.5 ~ 1000± 0.5 ~ 2500± 0.5 ~ 5000± 0.5 ~ 6250± 0.5 ~ 7500V
開路最小電壓步長0.10.10.10.10.1V
短路輸出電流± 0.01 ~ 20± 0.01 ~ 50± 0.01 ~ 100± 0.01 ~ 125± 0.01 ~ 150A
電壓精度精度可在 1 – 10 % 之間調(diào)節(jié)%速度/精度軟件可調(diào)
最快上升時(shí)間*
(默認(rèn) 20-80%)
≤ 50≤ 200≤ 300≤ 300≤ 300ps特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升時(shí)間
上升時(shí)間范圍0.05 ~ 12000.2 ~ 12000.3 ~


1200

0.3 ~


1200

0.3 ~


1200

ns
上升時(shí)間選項(xiàng)無限的可編程或手動(dòng)選項(xiàng)
可定制
脈寬
(默認(rèn) 50-50%)
100 ± 1ns默認(rèn)
最小脈寬0.51555ns
最大脈寬20002000150015001000ns
脈寬選項(xiàng)無限的可編程或手動(dòng)選項(xiàng)
可定制
測試速度通常 0.2 ~ 2s因硬件設(shè)置而異
尺寸347 W X 300 D X 145 Hmm可能因定制而改變
重量8881012kg
支持的示波器Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的主要系列其他可根據(jù)要求支持
支持 的SMUKeithley 24xx/26xx 系列 SMU其他可根據(jù)要求支持

ES62X-HMM2 外置人體金屬模型模塊
(短路DUT,符合ANSI / ESD SP5.6 的 100 Ω HMM)

參數(shù)ES620-25ES620-50ES622-100ES620-125ES620-150單位備注
IEC等效等級(jí)612243036kV
HMM 峰值電流22.54590112.5135A3.75 A 每 1 kV ≤ ± 10 %


IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM 電流 @ 30 ns1224486072A≤ ± 10 % (優(yōu)于±30% IEC)
HMM 電流 @ 60 ns612243036A≤ ± 10 % (優(yōu)于±30% IEC)

ES62X-HBM2 外置人體模型模塊
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5 k?, C=100 pF)

參數(shù)ES620-25ES620-50ES622-100ES620-125ES620-150單位備注
最大 HBM 測試等級(jí)± 2± 4± 8± 10± 12kV
最小HBM 測試等級(jí)
± 50V
最小測試步長
1V通過USB,用PCB 控制
電荷泄放電阻
10 KOhm
電壓輸出靈敏度
1/201V/V注入50 Ohm時(shí)誤差小于± 3%
電流傳感器靈敏度
1V/A注入50 Ohm時(shí)誤差小于± 3%
測試速度
>= 1S根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),最大 1P/s
物理尺寸
90 X 90 X 130mm

5.訂購信息

編號(hào)部件型號(hào)描述
TLP IV曲線系統(tǒng)基礎(chǔ)配置
1.1ES622-20ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),20 A 基礎(chǔ)單元
1.2ES622-25ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),25 A 基礎(chǔ)單元
1.3ES622-40ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),40 A 基礎(chǔ)單元
1.4ES622-50ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),50 A 基礎(chǔ)單元
1.5ES622-100ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),100 A 基礎(chǔ)單元
1.6ES622-125ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),125 A 基礎(chǔ)單元
1.7ES622-150ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),150 A 基礎(chǔ)單元
上升時(shí)間選項(xiàng) (僅作為案例配置展示,可供定制)
2.1ES62x-PRT4可編程的4個(gè)脈沖上升時(shí)間過濾器模塊
(默認(rèn):   內(nèi)置1 ns、5 ns、10 ns,可定制)
2.2ES62x-PRT10可編程的10個(gè)脈沖上升時(shí)間過濾器模塊
(默認(rèn):   內(nèi)置0.5ns、1 ns、2ns、5 ns、10 ns、20ns,可定制)
2.3ES62x-ERTF手動(dòng)外部上升時(shí)間過濾器
脈寬選項(xiàng)(僅作為案例配置展示,可供定制)
3.1ES620-PPL4可編程的4個(gè)內(nèi)置脈寬模塊
3.2ES620-PPL10可編程的10個(gè)內(nèi)置脈寬模塊
3.3ES620-MPLEx手動(dòng)脈寬外部變動(dòng)選項(xiàng)



外置脈沖模塊選項(xiàng)
4.1ES62X-HBM2人體模型 (HBM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項(xiàng)


(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脈沖測試及IV測量)

4.2ES62X-HMM2人體金屬模型(HMM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項(xiàng)


(IEC61000-4-2 脈沖測試及IV測量)

4.3ES62X-MM2機(jī)器模型(MM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項(xiàng)


(ANSI/ESDA SP5.2 脈沖測試及IV測量)

漏電或直流IV測量選項(xiàng)
5.1ES62X-SSM系統(tǒng)開關(guān)模塊(在脈沖及直流測試間切換)
5.2ES62X-STP1SMU 瞬態(tài)保護(hù)器
直流偏置測量選項(xiàng)
6.1BT-100V2A6GTLP測試偏置三通, 10 kHz – 6 GHz, 100V, 2 A DC/10 A 脈沖電流
6.2BT-100V4A3GTLP測試偏置三通, 10 kHz – 3 GHz, 100V, 4 A DC/20 A 脈沖電流
6.3BT-450V2A5GTLP測試偏置三通, 10 kHz – 5 GHz, 450V, 2 A DC/10 A 脈沖電流
ESD 注入及IV曲線測量選項(xiàng)
7.1ES62X-PSTT用于封裝級(jí)標(biāo)準(zhǔn)TLP測試的TDR-O測試裝置
7.2ES62X-PVFTT用于封裝級(jí)VF-TLP測試的TDR-S測試裝置
7.3ES62X-CMPS簡易式手動(dòng)探針臺(tái),配有可靈活移動(dòng)的真空泵和顯微鏡
7.4ES62X-WSTT用于晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)TLP測試的TDR-O測試裝置,含探針座
7.5ES62X-WVFTT用于晶圓級(jí)VF-TLP測試的TDR-S測試裝置,含探針座
與TLP系統(tǒng)匹配的示波器
8.1MISC-OSC1數(shù)字示波器( 1GHz, 5Gs, 4通道, 推薦用于標(biāo)準(zhǔn)TLP測試)
8.2MISC-OSC6數(shù)字示波器( 6GHz, 5Gs, 4通道, 推薦用于VF-TLP測試)


許多配置可根據(jù)客戶需求定制。ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)(含 HMM、HBM、MM 外部模塊)




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