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ESDEMC-ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM)
  • ESDEMC-ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM)
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貨物所在地：湖南長沙市

所在地： 美國

更新時(shí)間：2024-08-13 15:46:38

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ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM),是一款2管腳ESD測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計(jì)。該測試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動(dòng)化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM)


1.描述

ES612A是一款2管腳ESD測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計(jì)。該測試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動(dòng)化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612A ESD測試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測器件端的波形性能。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，用于確定保護(hù)電路的導(dǎo)通電平。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

2.特點(diǎn)

  • 低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖

  • 可定制，可擴(kuò)展

  • 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級測試

  • 外置可選配的自動(dòng)故障檢測模塊

  • 大尺寸觸摸控制面板，固件可升級

  • 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測量軟件

  • 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能

3.應(yīng)用

  • 用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級器件的通用ESD測試

  • HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750

  • HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2019

  • MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2019

4.規(guī)格

ES612A 控制主機(jī)

參數(shù)ES612A-2KES612A-4KES612A-6KES612A-8KES612A-12KES612A-20K單位
輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 4000± 10 ~ 6000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
最小輸出電壓步長1V (500V以內(nèi))


10V (2 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))


10V (4 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))


10V (6 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))


10V (8 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))


10V (12 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))


10V (20 kV以內(nèi))

V,


kV

輸出電壓精度優(yōu)于± 1 % ± 5 V%
尺寸347 X 300 X 145mm
重量566667kg
電壓、電流測量電壓、電流測量無源探頭
支持的示波器Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器
支持的SMUKeithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列

外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊

(根據(jù)ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)

參數(shù)HBM-2KHBM-4KHBM-6KHBM -8KHBM -12KHBM -20K單位
輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 4000± 10 ~ 6000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
放電RC值C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1%
短路峰值電流Ips0.67A ± 10 % 每kVns
短負(fù)荷上升時(shí)間Trs2 < Trs < 10ns
短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds130 < Tds < 170ns
短負(fù)荷振鈴Irs< 15% of Ips
500Ω負(fù)載峰值電流IprIpr/Ips ≥ 63%
500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr5 < Trr < 25ns

外置人體金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊

(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2019)

參數(shù)HMM-8HMM-24HMM-36單位備注
HMM第一峰值電流9090135A3.75 A每1 kV ≤ ± 10 %


IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM電流@ 30 ns484872A≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% )
HMM電流@ 60 ns242436A≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% )

外置機(jī)器模型（MM ）波形發(fā)生模塊

(根據(jù)ANSI/ESD STM5.2-2019)

參數(shù)MM-2MM-4單位備注
輸出電壓±10 ~ 2000±10 ~ 4000V
放電RC值C: 200 pF, R: 0 ?

短路負(fù)載峰值電流Ip11.75±10%每100VA如果使用插座公差會(huì)不同
短路負(fù)載Ip2Ip1的67% ~ 90%A
短路負(fù)載波形周期tpm66 < tpm < 90ns
500 ?負(fù)載峰值電流Ipr0.85 – 1.2A@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件
500 ?負(fù)載I1000.23 – 0.4A@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件
500 ?負(fù)載I200測量的 I100的30 -50%A

5.訂購信息


編號(hào)型號(hào)描述
ESD測試儀
1.1ES612A-2KES612 ESD測試儀, 最高2kV, 支持RS232 SCPI

ES612A-4KES612 ESD測試儀, 最高4kV, 支持RS232 SCPI

ES612A-6KES612 ESD測試儀, 最高6kV, 支持RS232 SCPI

ES612A-8KES612 ESD測試儀, 最高8kV, 支持RS232 SCPI

ES612A-12KES612 ESD測試儀, 最高12kV, 支持RS232 SCPI

ES612A-20KES612 ESD測試儀, 最高20kV, 支持RS232 SCPI
1.2ES612A-HBM-2人體模型2管腳模型, 2kV

ES612A-HBM-4人體模型2管腳模型, 4kV

ES612A-HBM-6人體模型2管腳模型, 6kV

ES612A-HBM-8人體模型2管腳模型, 8kV

ES612A-HBM-12人體模型2管腳模型, 12kV

ES612A-HBM-20人體模型2管腳模型, 20kV
1.3ES612A-HMM-8人體金屬模型2管腳模型, 等同8kV HMM

ES612A-HMM-24人體金屬模型2管腳模型, 等同24kV HMM

ES612A-HMM-36人體金屬模型2管腳模型, 等同36kV HMM
1.4ES612A-MM-2機(jī)器模型2管腳測試儀模型, 2kV

ES612A-MM-4機(jī)器模型2管腳測試儀模型, 4kV
附件
2.1CT-002-T電流探頭1kHz 至 2 GHz (優(yōu)于Tektronix CT1 & CT2)
2.2ES62X-CMPS簡易手動(dòng)探針臺(tái)
2.3XYZMXYZ探針座, XYZ可移動(dòng)500 mils, 0.01mm每個(gè)步進(jìn)
2.4XYZM-HBMHBM探針臂
2.5XYZM-HMMHMM探針臂(47.5R)
2.6HBM-TC0.30.3 mm用于IC探針封裝的變槳測試夾
2.7HBM-TC2.52.54 mm用于PCB探針的變槳測試夾(默認(rèn)配置包含1組)
2.8XYZM-PP0480.48 mm用于封裝級測試的彈簧針 (一包20個(gè))
2.9XYZM-TN1鎢鋼針 – 5 mils尖頭, 用于晶圓級測試 (一包10個(gè))
第三方設(shè)備
3.1KSMU2400SMU, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于設(shè)備直流自動(dòng)失效檢測))
3.2OSC-1G1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器
ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM) 自動(dòng)化解決方案
4.1HBM-RE64X264X2用于HBM自動(dòng)測試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊
4.2HBM-RE128X2128X2用于HBM自動(dòng)測試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊
4.4ES62X-PC-SW1預(yù)裝自動(dòng)測試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU
4.5ES62X-PC-SW2預(yù)裝自動(dòng)測試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU
4.6ES62X-PC-SW3預(yù)裝自動(dòng)測試軟件的臺(tái)式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU
4.7ES650-150全自動(dòng)2管腳低寄生機(jī)械自動(dòng)化方案
(不限制管腳, 不需要PCB, PC & 包含全自動(dòng)軟件)





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