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ES640充電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng)
  • ES640充電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2024-08-13 15:48:32

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ES640充電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng),充電器件模型(CDM)靜電放電是微電子電路故障的常見(jiàn)原因。較低電壓下的C??DM放電會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞或損毀靈敏設(shè)備。當(dāng)帶靜電的設(shè)備以不同的電位接觸金屬表面時(shí),通常會(huì)發(fā)生這種情況。這種靜電放電通常具有非??斓纳仙龝r(shí)間。

ES640充電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng)


1.

充電器件模型(CDM)靜電放電是微電子電路故障的常見(jiàn)原因。較低電壓下的CDM放電會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞或損毀靈敏設(shè)備。當(dāng)帶靜電的設(shè)備以不同的電位接觸金屬表面時(shí),通常會(huì)發(fā)生這種情況。這種靜電放電通常具有非??斓纳仙龝r(shí)間。

ES640是一款自動(dòng)化的CDM測(cè)試儀,可滿(mǎn)足所有流行的CDM測(cè)試方法,支持場(chǎng)感應(yīng)空氣放電方法(FICDM)和接觸放電(LI-CCDM, CC-TLP, RP-CCDM)方法。本測(cè)試系統(tǒng)包含計(jì)算機(jī)、環(huán)境控制室、精確的XYZ運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、不同類(lèi)型的CDM測(cè)試儀頭以及自動(dòng)測(cè)試和數(shù)據(jù)分析軟件。

以下是ESDEMC ES640 CDM解決方案與其他解決方案的比較,包括Thermo Scientific Orion3 CDM測(cè)試儀、Hanwa HED-C5000R等。

2.點(diǎn)

  • 高分辨率攝像頭(可多達(dá)3個(gè))可輕松進(jìn)行引腳對(duì)齊操作

  • 高分辨率運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)(步長(zhǎng)低至1 µm)

  • 允許批量測(cè)試多個(gè)設(shè)備

  • 正在申請(qǐng)的CCDM方法具有更好的可重復(fù)性

  • 密閉的環(huán)境室提高了干燥單元的效率

  • 支持再生干燥單元(無(wú)需氮?dú)猓?/p>

3.應(yīng)

  • 用于封裝和晶圓級(jí)測(cè)試的通用CDM系統(tǒng)

  • 支持許多流行的最新CDM方法:

    • ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)

    • AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)

    • AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)

    • ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM, 需要vf-TLP)

    • CC-TLP (待批準(zhǔn)的ESDA SP, 需要vf-TLP)

    • 我司申請(qǐng)中的RP-CCDM方法

    • 可根據(jù)客戶(hù)要求提供已停用或定制的解決方案

  • 機(jī)器人帶電板模型(CBM)和平板ESD測(cè)試可自定義尺寸

4.規(guī)格

參數(shù)ES640-150ES640-300單位備注
最大XY 測(cè)試面積≥ 150 X 150≥ 300 X 300mm探針移動(dòng)面積,可定制
最大DUT面積160 X 160375 X 425mm
充電板面積210 X 210395 X 470mm
Z 行程≥ 50≥ 150mm
最小X, Y, Z 步長(zhǎng)100nm
復(fù)位重復(fù)能力≤ ±6μm
測(cè)試電壓范圍±1至2000 或 4000V默認(rèn)2000V,可定制
測(cè)試電壓階躍1V
測(cè)試電壓精度± 1% ± 0.1V% V
XY 視野分辨率1920 X 1080像素
垂直視野分辨率2592 X 1944像素
運(yùn)行溫度10 至 40°C
運(yùn)行濕度(RH)10 至 80%
電壓120-240 VAC, 50/60 HzVAC
N2或CDA壓強(qiáng)10 – 120PSI
N2或CDA峰值用量0.2cfm或0.34 m3h
300 N2箱平均用量~ 19小時(shí)持續(xù)的@40RH環(huán)境
干燥劑平均用量~ 24小時(shí)持續(xù)的@40RH環(huán)境

5.訂購(gòu)信息

編號(hào)型號(hào)描述
ES640帶電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng)
1.1ES640-150通用CDM平臺(tái), 150 X 150 mm測(cè)試區(qū)域, 2 kV
1.2ES640-300通用CDM平臺(tái), 300 X 300 mm測(cè)試區(qū)域, 2 kV
1.3ES640-HC用于空氣放電方法的濕度調(diào)節(jié)單元
(用戶(hù)可重復(fù)使用干燥劑, 比N2或CDA的使用成本更低)
1.4ES640-CV4放電電壓從2kV提升到4 kV
1.5ES640-CPC場(chǎng)板定制,用于固定200X300 DUT
1.6ES640-VP1用于固定DUT的真空泵 (可選, 軟件控制)
1.7ES640-VP2高壓尖部清潔單元(可選, 軟件控制)
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置( 包括 AEC_Q100-011D, AEC_Q101-005A在內(nèi)均遵循此標(biāo)準(zhǔn))
2.1ES640-JS002JS002放電單元
2.2ES640-JS002-CJS002/C101校準(zhǔn)盤(pán)(小盤(pán)和大盤(pán))
2.3ES640-JS002-P1JS002可替代Pogo Pin #1 (直徑0.35mm)

已停用的AEC標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置(不推薦用于新設(shè)計(jì))

ES640充電器件模型(CDM)測(cè)試系統(tǒng)




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