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Mitutoyo三豐物鏡378-751-4

 明視場用液晶近紫外區(qū)校正 物鏡
LCD Plan Apo NUV /
LCD Plan Apo NUV HR

 ·無限遠校正
·透過液晶玻璃的明視場觀察及激光加工用
·超長工作距離
·平場復(fù)消色差規(guī)格
· 按液晶玻璃厚度為1.1mm或0.7mm進行了校正設(shè)計
···適合透過玻璃的高倍率觀察。
玻璃的厚度、材質(zhì)(折射率)可按用戶設(shè)計制作

 QV系列標配了高性能影像對焦，并通過影像對焦保證了精度。豐富的對焦工具可根據(jù)不同
的表面性狀及測量位置選擇的焦點，可實現(xiàn)高信賴性的高度測量。高速的自動對焦速
度，實現(xiàn)了提高了綜合的測量效率。

 根據(jù)被測工件的尺寸，選擇具有相應(yīng)測量范圍的型號。
• 新的影像獲取技術(shù)的應(yīng)用(工作臺無停頓)，大
大提高了測量效率。傳統(tǒng)的影像測量機，按照
工作臺移動→工作臺停止→測量→工作臺移動
的順序進行重復(fù)操作，但這種重復(fù)一直限制了
測量效率的提高。相比之下，QV STREAM PLUS
通過引入不間斷影像測量(STREAM型) 已縮短
了測量時間，不間斷影像測量能消除由傳統(tǒng)的
加速、減速及停止循環(huán)造成的非生產(chǎn)時間。

 QV ACCEL系列采用了門移動構(gòu)造，因為工
作臺不動所以實現(xiàn)了固定工件夾具的簡單
化。為此，不僅縮短了夾具的制作工時，
而且更加適合易碎工件及輕薄工件的測量。
• 產(chǎn)品種類中新增了應(yīng)對高密度，小型化IC組
件、大型印刷電路板、金屬膜、液晶顯示
屏的測量。
• 所有型號的產(chǎn)品都具有表面、邊緣和圖案
自動對焦的功能，增加了測量靈活性以用
于多種用途。
出廠時可增加激光自動對焦功能。

 為了將直線度誤差控制至小，X、Y、Z3
軸移動方式采用了高精度三坐標等使用的
空氣軸承。
• 通過FEM(有限要素法)解析后的設(shè)計實
現(xiàn)了本體的高剛性化。
• 作為基準的測長方式采用了分辨力為0.01μm
的光學(xué)式線性編碼器。該編碼器的線性膨
脹系數(shù)約為零，盡可能地將溫度變化產(chǎn)生的
誤差控制到小限度。

 品 名貨號
數(shù)值孔徑
NA
工作距離
WD(mm)
(空氣換算)
焦距
f(mm)
分辨力
R(μm)
物鏡單體的焦深
±D.F.(μm)
實際視場(mm) 重量
ø24目鏡 (g) 1/2型
相機 (縱×橫)
LCD Plan Apo NUV  Mitutoyo三豐物鏡378-751-4
LCD Plan Apo NUV 20×(t0.7) 378-890-8 0.42 16.96 10 0.7 1.7 1.2 0.24×0.32 340
LCD Plan Apo NUV 50×(t1.1) ※ 378-753-8 0.44 14.53 4 0.6 1.6 0.48 0.10×0.13 350
LCD Plan Apo NUV 50×(t0.7) 378-820-8 0.44 14.76 4 0.6 1.6 0.48 0.10×0.13 350
LCD Plan Apo NUV 100×(t1.1)※ 378-751-4 0.50 11.03 2 0.6 1.1 0.24 0.05×0.06 380
LCD Plan Apo NUV HR
LCD Plan Apo NUV HR 50×(t0.7) 378-891-6 0.65 9.76 4 0.4 0.7 0.48 0.10×0.13 500
●上述規(guī)格欄中的分辨力和物鏡單體焦深是根據(jù)基準波長(λ＝0.55μm)計算得出的值。