高分辨率線性傳感器 
GS-3813B / 3830B

分辨率0.1 Myuemu

• 日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B
• 日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B

左：GS-3830B 
右：GS-3813B

而GS-3813B / 3830B是亞微米線性量規(guī)傳感器，具有防塵和優(yōu)異的軸承和IP66G耐久性的防滴性能，這是由自動機對應于所述在線測量高分辨率線性量規(guī)傳感器。

滾珠花鍵軸承的采用和新光學系統(tǒng)的開發(fā)使得實現(xiàn)高分辨率和環(huán)境性能成為可能。

檢測信號可以用方波輸出（線路驅(qū)動器輸出）提取，因此可以直接連接到PLC。

GS-3813B / 3830B線性傳感器與DG-5100數(shù)字儀表計數(shù)器配合使用

DG-5100數(shù)字儀表計數(shù)器

DG-5100是一款輸入頻率為3 MHz的高速計數(shù)器。
通過采用選件卡，可以以低成本實現(xiàn)比較器功能，模擬輸出功能，RS-232C通信功能等必要功能。

詳情產(chǎn)品介紹 

特點

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，可以進行更的測量
（分辨率10倍1μm→0.1μm）

■軸承壽命比傳統(tǒng)產(chǎn)品長3倍
（測量操作500萬次→1500萬次）

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，增強了
防塵，防水，防油性能（防護結(jié)構(gòu)IP64→IP66G）

■振動和沖擊性能是傳統(tǒng)產(chǎn)品的兩倍
（抗振性98 m / s ²，耐沖擊性980 m / s ² →抗振性196 m / s ²，耐沖擊性1960 m / s ²）

應用實例

高精度測量光學系統(tǒng)中使用的玻璃部件，如激光

激光設備等的玻璃部件在拋光過程中用接觸式高精度線性規(guī)進行尺寸檢查，以確保中間過程的精度，并在終過程中送到光學檢查過程。

硅片厚度測量，精度為1μm

使用高精度線性傳感器，測量硅晶片的厚度，精度為1μm。ST-0230量規(guī)支架適用于小于4英寸的小型晶圓。

高精度厚度測量翹曲材料，如硅片

它地測量具有類似硅晶片的翹曲的板狀材料的厚度。為了不受翹曲的影響，請使用一個特殊的支架，其結(jié)構(gòu)接收GS-3813B測量傳感器的測量元件與“凸透鏡”碰撞的部分，并用銷釘支撐其他四個點。
通過將GS-3813B測量傳感器的傳感器中心與凸透鏡的中心對齊，可以在幾乎不受翹曲影響的情況下測量厚度?？梢酝ㄟ^RS-232C接口將測量數(shù)據(jù)加載到PC中來執(zhí)行諸如統(tǒng)計處理之類的二次數(shù)據(jù)處理。

大綱規(guī)范

※1使用我們的儀表計數(shù)器時，括號中的數(shù)值是使用DG-5100時的電氣響應速度。 
※2橫向（10°C以下）或以上使用時，主軸可能無法*返回。 
※3這是改造時能夠向上使用的變更范圍。（數(shù)值是向下方向的測量功率） 
* 4測量期間的振動和沖擊阻力不保證所述值。 
* 5如果在中間斷開或修改信號電纜，CE標記不符合要求。