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日本INTECS鹵素光源裝置鹵素?zé)鬠IH-2D
超高輝度検査用照明裝置（ＵＩＨ－２Ｄ型）
一般的に半導(dǎo)體ウエハーやマスクガラス等の目視検査で、傷やごみ、內(nèi)部異物や気泡を
発見する為には熟練を要します。これらの検査を容易に行うために開発した裝置です。
対象物（※１）に高輝度の光を照射することにより、チンダル現(xiàn)象を発生させて傷やゴミ、
埃の付著、內(nèi)部の異物、気泡等を確認することが出來ます。

日本INTECS鹵素光源裝置鹵素?zé)鬠IH-2D

一般的に半導(dǎo)體ウエハーやマスクガラス等の目視検査で、傷やごみ、內(nèi)部異物や気泡を発見する為には熟練を要します。これらの検査を容易に行うために開発した裝置です。対象物（※１）に高輝度の光を照射することにより、チンダル現(xiàn)象を発生させて傷やゴミ、埃の付著、內(nèi)部の異物、気泡等を確認することが出來ます。

ＵＩＨ－２Ｄ型仕様

ランプ定格	100V 300W
設(shè)計照射徑と距離	ランプ鏡筒先端から200mmでφ70mm
高輝度	上記照射徑中央にて約40萬ルクス
50萬ルクス時の照射徑	約φ60mm
倍徑時距離と輝度	400mm　約10萬ルクス
輝度偏差と可変幅	高輝度偏差：上限10％、下限20％　　可変幅 10:1以上
高輝度ランプ壽命	75時間以上
半輝度ランプ壽命	1000時間以上
調(diào)光方式	ＳＣＲ制御（50/60Hz自動切り替え）
ランプハウス內(nèi)冷卻	ファンによる強制空冷方式
ランプハウス內(nèi)発熱監(jiān)視	約100℃を超えるとランプを強制消燈
ランプハウス冷卻保持（※１）	有り
電源	AC100V セミトランス式
総重量	約9ｋｇ

※１　ランプ保護の為、主電源スイッチをＯＦＦにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
　　　ファンによる冷卻を保持する機能

ランプ壽命について ?高輝度で７５時間 ?半輝度で１０００時間輝度と照射面積について輝度は照射面積に反比例します。照射面積を必要低限に調(diào)整し、INTENSITY ノブにて必要輝度に調(diào)整することにより、ランプ壽命を延ばすことが出來ます。消耗品（別売り）についてＵＩＨ－２Ｄ専用 100V 300W ダイクロックミラー形ハロゲンランプ 1 箱 10 個入ヒューズミゼット型 5A 5 本入を販売しております。

ＵＩＨ－２Ｄ型仕様

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