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CFD 系列全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
易威奇IWAKI全氟材質(zhì)半導(dǎo)體氣動泵
CFD 系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
高分辨率
小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費。此外，防虹吸設(shè)計防止意外吸入。
耐腐蝕過流端
氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。
寬廣的吐出率調(diào)節(jié)
打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。
配備泄漏傳感器
每臺泵都配有泄漏傳感器，可實時檢測任何泄漏情況。
規(guī)格
大吐出量 | 1 mL/shot |
大吐出壓力 | 0.05 MPa |
大沖程率 | 30 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA, PCTFE |
液體輸送溫度范圍 | 20 ~ 60 °C |
