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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,電子,冶金,電氣,綜合 |
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CFD 系列全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
產(chǎn)品分類品牌分類
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Fluke安裝測(cè)試儀 Fluke熱像儀 Fluke校準(zhǔn)儀 Fluke測(cè)試儀 Fluke功率計(jì) Fluke功率分析儀 Fluke記錄儀 Fluke監(jiān)測(cè)器 Fluke電氣綜合測(cè)試儀 Fluke電能質(zhì)量分析儀 Fluke紅外熱像儀 Fluke紅外窗口 Fluke電測(cè)窗 Fluke激光儀 Fluke鉗形表 Fluke點(diǎn)檢儀 Fluke頻閃儀 Fluke測(cè)振儀 Fluke模塊 Fluke溫度表 Fluke測(cè)溫儀 Fluke電流表 Fluke萬(wàn)用表 Fluke套件 Fluke電阻測(cè)試儀 Fluke示波表 Fluke工業(yè)診斷內(nèi)窺鏡 Fluke成像儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
易威奇IWAKI全氟材質(zhì)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
CFD 系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
高分辨率
小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過(guò)程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過(guò)量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。
耐腐蝕過(guò)流端
氟材質(zhì)口過(guò)流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對(duì)化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。
寬廣的吐出率調(diào)節(jié)
打開(kāi)底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長(zhǎng)度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。
配備泄漏傳感器
每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況。
規(guī)格
大吐出量 | 1 mL/shot |
大吐出壓力 | 0.05 MPa |
大沖程率 | 30 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA, PCTFE |
液體輸送溫度范圍 | 20 ~ 60 °C |
