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930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用。
產(chǎn)品分類品牌分類
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Fluke安裝測試儀 Fluke熱像儀 Fluke校準(zhǔn)儀 Fluke測試儀 Fluke功率計(jì) Fluke功率分析儀 Fluke記錄儀 Fluke監(jiān)測器 Fluke電氣綜合測試儀 Fluke電能質(zhì)量分析儀 Fluke紅外熱像儀 Fluke紅外窗口 Fluke電測窗 Fluke激光儀 Fluke鉗形表 Fluke點(diǎn)檢儀 Fluke頻閃儀 Fluke測振儀 Fluke模塊 Fluke溫度表 Fluke測溫儀 Fluke電流表 Fluke萬用表 Fluke套件 Fluke電阻測試儀 Fluke示波表 Fluke工業(yè)診斷內(nèi)窺鏡 Fluke成像儀
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用。
- 派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計(jì)，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克專有的UHP級不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時極度的耐腐蝕性和大循環(huán)使用壽命。 
930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。
930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試，以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和可靠性。
市場：
• 半導(dǎo)體
• 分析實(shí)驗(yàn)室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
美國PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)與優(yōu)勢：
• 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕務(wù)）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅(qū)動，額定壓力為75 psig
美國PARKER派克隔膜閥應(yīng)用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br />• 閥組箱（VMB）
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