在高純氣體和電子半導體制造領(lǐng)域,氣體純度至關(guān)重要,哪怕是極其微量的雜質(zhì),都可能引發(fā)嚴重后果。比如在半導體芯片制造中,雜質(zhì)會影響芯片性能,甚至導致芯片報廢,造成巨大經(jīng)濟損失。傳統(tǒng)檢測設(shè)備面對這些微小雜質(zhì),常常力不從心,檢測結(jié)果不盡人意。
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