PFA清洗槽是專為半導(dǎo)體光伏光電等行業(yè)設(shè)計(jì)的,主要用于浸泡、清洗帶芯片硅片電池片的花籃。它能耐受清洗溶液的腐蝕性,同時(shí)金屬元素空白值低,無(wú)溶出無(wú)析出,不會(huì)污染芯片晶圓等。
半導(dǎo)體晶圓清洗槽尺寸可按要求定做??啥ㄖ婆涮咨w子,防止污染
可用于硅片生產(chǎn)過(guò)程中裝載超凈高純?cè)噭┑倪\(yùn)輸、貯存槽罐,材料采用PTFE、PFA等高潔凈、耐腐蝕材料。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、外觀半透明,易觀察槽內(nèi)試劑情況;
2、耐高低溫:-200~+260℃
3、耐腐蝕:耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水、氫fu酸和各種有機(jī)溶劑;
4、耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān);
5、防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb;
6、低的溶出和析出,不會(huì)污染芯片、晶圓、硅片等;
8、化學(xué)性能穩(wěn)定,可恢復(fù)性好,不易變形;
9.特氟龍塑料,經(jīng)久耐用,不易碎