半導(dǎo)體用電子級純酸提純裝置硝酸純化系統(tǒng)
酸純化器:又稱酸純化系統(tǒng),高純酸提純器,酸試劑提純器,高純酸蒸餾純化器等,實(shí)驗(yàn)室工作中常常由于酸的純度較差,造成分析結(jié)果的偏差與錯誤。市售的超純酸往往由于較貴,很難滿足日常分析中對酸的大量需求。因此,提純優(yōu)化酸的質(zhì)量,是為經(jīng)濟(jì)可行的途徑,我廠的酸純化器可用于實(shí)驗(yàn)室如HNO3、HCl、HF、堿溶液和有機(jī)溶劑的純化,純化后的酸和Merck的一樣好,實(shí)驗(yàn)后期可配套我單位Teflon特氟龍系列試劑瓶收取高純酸。
二、工作原理:
酸純化器是利用熱輻射原理,保持液體溫度低于沸點(diǎn)溫度蒸發(fā),再將其酸蒸氣冷凝從而制備高純水和高純試劑,應(yīng)用于樣品處理及分析實(shí)驗(yàn)中。
三、 產(chǎn)品特點(diǎn):
1、可以滿足ICP、ICP-MS低的檢測限需要及苛刻的分析應(yīng)用中提供實(shí)驗(yàn)室級超純酸,所用容器均采用Teflon無吸附塑料,可處理如HNO3、HCl、HF等實(shí)驗(yàn)室的常用酸。
2、實(shí)驗(yàn)證明將金屬雜質(zhì)含量約10ppb的酸經(jīng)過一次蒸餾后,金屬雜質(zhì)含量可以降低到0.01ppb左右。若對酸要求更高,可增加提純次數(shù)。
半導(dǎo)體用電子級純酸提純裝置硝酸純化系統(tǒng)
四、使用注意事項(xiàng):
1、所有配件(控制器、電源線、加熱片等除外)放入按實(shí)驗(yàn)要求一定濃度的酸液中浸泡,去除雜質(zhì)。
2、加酸前必須做好個人防護(hù)如:防濺眼鏡、防酸手套等(蒸水除外)。
【電子級酸】:
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析,根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量,劃分為4個級別:MOS級,VLSI級,ULSI級,SLSI級
MOS級(EL級):控制十多個金屬元素,單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右
VLSI級:控制三十多個金屬元素,單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb
ULSI級:控制三十多個金屬元素,單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下
SLSI級:控制三十多個金屬元素,單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下
所謂的電子級酸,其實(shí)就是ppb或者ppt級的高純酸。