產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
三維表面形貌測量儀IF-Sensor R25
三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專門針對(duì)生產(chǎn)中全自動(dòng)測量形貌和粗糙度而設(shè)計(jì)的一款光學(xué)三維測量儀。
三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 系 統(tǒng)
傳感器與生產(chǎn)線相結(jié)合使得在測量微米和亞微米級(jí)別的表面特性時(shí)該設(shè)備可以提供高分辨率,可重復(fù)型和可溯源的結(jié)果。所測得結(jié)果的分辨率是傳統(tǒng)2D測量和接觸式測量所不能比擬的。
R25 優(yōu) 勢(shì)
在研發(fā)和生產(chǎn)過程中,自動(dòng)變焦(Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復(fù)性的測量結(jié)果。因此 R25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測量流程平臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡易快速整合,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室測量結(jié)果的對(duì)比。
R25的技術(shù)參數(shù):
位移距離(Z):26mm(自動(dòng)調(diào)節(jié))
zui大掃描高度:25mm
*垂直分辨率:20nm
zui小測量半徑:2µm
zui小測量楔角:20°
zui小測量粗糙度(Ra):80nm
zui小測量粗糙度(Sa):50nm
zui大測量傾斜角:87°