ATOS電磁閥桿與填料、閥芯與閥座以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)的卡塞。
（1）閥桿密封填料壓裝過緊，引起閥桿運(yùn)行阻力增大。由于數(shù)控加工精度的提高，閥桿表面的光潔度很高，填料過緊增大了閥桿與填料間的阻力，在預(yù)緊彈簧回位時(shí)引起超調(diào)，進(jìn)而引起閥門長周期振動（振動周期一般大于30s）。
（2）對彈簧預(yù)緊的填料函采用不合理的方法調(diào)整填料壓蓋，造成閥桿運(yùn)行阻力增大、預(yù)緊彈簧或填料損壞。
（3）低溫閥門未采用與其相應(yīng)的填料，造成摩擦阻力增大。
（4）閥桿變形或填料壓蓋錯位，引起閥桿摩擦填料壓蓋，造成運(yùn)行阻力增大，同時(shí)引起填料加速磨損造成介質(zhì)泄漏。閥桿變形通常有2種原因。①正作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)由于氣源壓力設(shè)定值超過閥門標(biāo)稱值，推力過大造成閥桿變形。②操作閥門手動機(jī)構(gòu)時(shí)用力過大引起閥桿變形。
（5）填料函進(jìn)入異物卡塞，造成閥桿運(yùn)行阻力增大。異物有閥桿不潔凈運(yùn)行過程中帶入的粉塵、鐵銹或雨雪等。另外，由于冷箱或管線漏冷嚴(yán)重，使閥桿處結(jié)冰，冰又通過閥桿移動帶入填料函。
（6）閥芯內(nèi)部卡塞，主要原因有導(dǎo)向套部分卡塞（部分廠家叫無油軸承），介質(zhì)在閥內(nèi)結(jié)晶或結(jié)垢，閥腔內(nèi)有異物等。由于吹掃不干凈，設(shè)備腐蝕，管道或容器內(nèi)部件脫落等原因造成閥腔內(nèi)有異物存在。
（7）執(zhí)行機(jī)構(gòu)卡塞，主要原因有彈簧斷裂或疊壓，雙齒條執(zhí)行機(jī)構(gòu)齒牙磨損，執(zhí)行機(jī)構(gòu)限位螺釘或限位盤等部件脫落。
ATOS電磁閥振動是閥門運(yùn)行中較難處理的故障之一。振動不僅加速調(diào)節(jié)閥的損壞，也對產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)造成影響。本文結(jié)合智能定位器的研究，給出現(xiàn)場處理振動問題的注意事項(xiàng)和方法。
執(zhí)行機(jī)構(gòu)漏氣
ATOS電磁閥由于漏氣使實(shí)際閥位偏離給定閥位，造成伺服放大器反復(fù)充氣，使閥門不能穩(wěn)定在給定閥位，造成閥門振動。
ATOS電磁閥氣動薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)
氣動薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)的膜片破損，推桿與彈簧托盤松動，O形圈破損，反作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)推桿與下膜蓋之間的密封漏氣，通常為V形密封圈磨損，頂裝手輪機(jī)構(gòu)上膜蓋密封漏氣。
（2）直行程氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)
直行程氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)（包含用于撥叉式角行程執(zhí)行機(jī)構(gòu)）的活塞密封圈漏氣（竄缸漏氣），活塞缸蓋密封漏氣，限位螺釘密封組件漏氣，輸出軸與缸蓋間密封漏氣。
（3）雙齒條結(jié)構(gòu)角行程執(zhí)行機(jī)構(gòu)
雙齒條結(jié)構(gòu)角行程執(zhí)行機(jī)構(gòu)的活塞背面密封圈漏氣，氣缸蓋與缸體密封圈漏氣，輸出軸與缸體連接的上下支撐密封圈漏氣，氣缸蓋上的限位螺釘漏氣。
（4）外部附件
外部附件如各定位器輸出管線接頭漏氣，氣控增速器或繼動器、快排閥、單向調(diào)速器和保位閥漏氣。
2.2漏氣處理
針對不同的漏氣現(xiàn)象，采取的處理方法不同。
（1）如果閥門沒有嚴(yán)格的開關(guān)時(shí)間限制，應(yīng)盡可能減少氣動附件和過程接頭，如取消快排閥、氣控增速器、單向調(diào)速器、變徑和彎通等附屬元件。
（2）定時(shí)清掃并加注潤滑油，保持推桿、閥桿潔凈無銹蝕，鍍鉻層不起皮，潤滑充分，確保密封件不磨損、不漏氣。
（3）巡檢時(shí)，對氣動薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)的排氣口（正作用排氣口在下膜蓋，反作用在上膜蓋）和單作用活塞缸的排氣口等部位進(jìn)行檢漏，發(fā)現(xiàn)漏氣及時(shí)進(jìn)行修復(fù)處理。