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德國PI  Q-545 Q-Motion®精密線性平臺

• 
  寬度僅為45 毫米
• 推/拉力為8 牛
• 帶位置分辨率的增量傳感器
• 不帶接裝板的XY組合可供選擇
• 真空兼容至10^-6百帕 (Q-545.xx0)
• 真空兼容至10^-9百帕 (Q-545.xxU)

壓電慣性驅(qū)動器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時，驅(qū)動直接作用在動輪上，實(shí)現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10^-6 百帕。此外，適用于10^-9 百帕的超高真空版本也可供貨?？砂葱杼峁┓谴判园姹?/p>

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為1 納米。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開關(guān)

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試

寬度僅為45 毫米
推/拉力為8 牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕 (Q-545.xx0)
真空兼容至10-9百帕 (Q-545.xxU)

德國PI  Q-545 Q-Motion®精密線性平臺