SF6智能微水儀由于SF₆被電弧分解后產(chǎn)生HF，SO₂，SOF₂等有毒氣體，會對金屬件、絕緣件產(chǎn)生腐蝕作用，而水分的存在會加重腐蝕作用。因此，微量水分作為SF₆開關(guān)設(shè)備出廠和投運前的必試項目，已廣泛地受到重視，對SF₆高壓電氣設(shè)備氣體密度和微水含量的監(jiān)測一直是相關(guān)行業(yè)對設(shè)備監(jiān)測的一個重要的組成部分。

    為了使對SF₆氣體的監(jiān)測變得有章可循，有關(guān)部門相繼制定了相關(guān)標準對SF₆氣體質(zhì)量、特別是微水含量進行嚴格控制，電力部推薦標準《電力設(shè)備預(yù)防性試驗規(guī)程(DL/T 596-2005)》、國家標準《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢驗導(dǎo)則(GB/T 8905-1996)》。