壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片（N型）定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條 ，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。

壓阻式壓力傳感器優(yōu)點：

1. 頻率響應(yīng)高，f0可達1.5M；

2. 體積小、耗電少；

3. 靈敏度高、精度好，可測量到0.1%的精que度；

4. 無運動部件（敏感元件與轉(zhuǎn)換元件一體）。

壓阻式壓力傳感器缺點：

1. 溫度特性差；

2. 工藝復(fù)雜。

壓力傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等各個領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個關(guān)鍵參數(shù)，對靜態(tài)和動態(tài)壓力，局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如，用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。

在飛機噴氣發(fā)動機中心壓力的測量中，使用專門設(shè)計的硅壓力傳感器，其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進口處和發(fā)動機進氣管道模型中。

單個傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達300千赫，非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面，壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米，外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。是一種用于測量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量槍pao膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外，在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式壓力傳感器。

壓阻式壓力傳感器靈敏度高，它的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變片高50~100倍;頻率響應(yīng)快，不僅能檢測靜態(tài)壓力，還能檢測動態(tài)壓力（gao可達10kHz）;易于小型化和微型化，小的傳感器可小至1.8mm，在生物學(xué)上可以測量血管內(nèi)壓和顱內(nèi)壓;測壓范圍很寬，可以低至10Pa的微壓（用于血壓測量）、高至60MPa的高壓;工作可靠，測量準確度可達±（）.2%-±0.02%，高準確度的產(chǎn)品可用于大型飛機大氣數(shù)據(jù)的壓力檢測或作為標準壓力計。目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于石油、化工、電氣等工業(yè)領(lǐng)域，是一種比較理想、發(fā)展迅速、正在逐漸成為市場主流的壓力傳感器。

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