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LAF傳感器旨在實現(xiàn)光學(xué)檢測設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實時焦點跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導(dǎo)體的AOI系統(tǒng)
我們的技術(shù)可實現(xiàn)以下焦點跟蹤：
無圖案表面
具有高對比度變化的圖案表面
具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)
獨te功能：
混合激光/圖像跟蹤
三明治基板的多表面聚焦
自動設(shè)置
參考型號: LAF4、LAF5、LAF5-CH
LAF5直線激光自動聚焦跟蹤系統(tǒng)：
用于自動光學(xué)檢測（AOI）系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動聚焦和跟蹤
傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上
適用于放大倍率為2倍至100倍的無限校正透鏡，可見光、近紅外、NUV、DUV
UI界面和軟件庫
