上海殷德電氣有限公司

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德國(guó)MSG傳感器驅(qū)動(dòng)器LAF5系列產(chǎn)品技術(shù)資料

2023-9-5  閱讀(127)

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【詳細(xì)說(shuō)明】

LAF傳感器旨在實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實(shí)時(shí)焦點(diǎn)跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導(dǎo)體的AOI系統(tǒng)

我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)以下焦點(diǎn)跟蹤:

無(wú)圖案表面

具有高對(duì)比度變化的圖案表面

具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)

獨(dú)te功能:

混合激光/圖像跟蹤

三明治基板的多表面聚焦

自動(dòng)設(shè)置

參考型號(hào): LAF4、LAF5LAF5-CH

LAF5直線激光自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng):

用于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動(dòng)聚焦和跟蹤

傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無(wú)限校正透鏡,可見(jiàn)光、近紅外、NUV、DUV

UI界面和軟件庫(kù)



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