純水設(shè)備采用的是主要是反滲透膜技術(shù)。它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使?jié)B透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。

　　反滲透是一種借助于選擇透過(半透過)性膜的工力能以壓力為推動力的膜分離技術(shù)，當(dāng)系統(tǒng)中所加的壓力大于進水溶液滲透壓時，水分子不斷地透過膜，經(jīng)過產(chǎn)水流道流入中心管，然后在一端流出水中的雜質(zhì),如離子、有機物、細菌、病毒等,被截留在膜的進水側(cè)，然后在濃水出水端流出，從而達到分離凈化目的。

　　跟純水設(shè)備不同，超純水設(shè)備是在反滲透技術(shù)的基礎(chǔ)上，添加了離子交換和終端處理技術(shù)。

　　超純水設(shè)備受到污染的途徑主要有3種：

　　1、進水污染

　　超純水設(shè)備進水水源為市政自來水經(jīng)超濾后出水,水質(zhì)比較理想,但是部分真菌類采用孢子繁殖,雖然在超濾進水前市政自來水已進行了加氯殺菌,部分真菌類孢子可能處于假死狀態(tài)而進入反滲透內(nèi)部,在反滲透進水管加入還原劑去除水中余氯的處理,從反滲透給水泵至反滲透出水這段管道內(nèi)沒有抑制細菌等微生物生長的氧化性殺菌劑的存在,給厭氧性真菌等其他微生物制造了良好的生存條件,使真菌等微生物在這些部位迅速繁殖、生長。

　　2、保安過濾器滋生微生物

　　超純水設(shè)備前置保安過濾器是進反滲透前后一道過濾設(shè)備,其過濾精度只有5μm,截污能力較強,當(dāng)截留下來的物質(zhì)聚集在一起的時候就成為了微生物滋生的理想環(huán)境,其他同類型設(shè)備也多次出現(xiàn)由于保安過濾器內(nèi)部滋生異物對超純水設(shè)備產(chǎn)生影響的情況。真菌類物質(zhì)隨著進水進入反滲透本體,在反滲透內(nèi)部大量滋生影響設(shè)備運行。

　　3、超濾出水對系統(tǒng)影響

　　此種影響性小,但也不能排除。