Aalborg質(zhì)量流量計(jì)不銹鋼AFC26S-BAN5-D0
質(zhì)量流量控制器AFC型模擬質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于指示氣體的流量和控制氣體的設(shè)定流量。
這些裝置中的每一個(gè)都包含一個(gè)*的直管傳感器和由不銹鋼制成的流道元件。命令模塊的LED讀數(shù)提供0至100%校準(zhǔn)。從變送器外部方便地進(jìn)行零點(diǎn)和量程調(diào)整。
操作原理
計(jì)量氣體分為兩個(gè)層流通道,一個(gè)通過(guò)主流道,另一個(gè)通過(guò)毛細(xì)管傳感器管。兩個(gè)流量管道的設(shè)計(jì)都是為了確保層流,因此它們的流量比是恒定的。
傳感器管上的兩個(gè)精密溫度傳感繞組被加熱,當(dāng)氣流發(fā)生時(shí),氣體將熱量從上游輸送到下游繞組。由此產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組電阻的變化成正比。
采用惠斯通電橋設(shè)計(jì)來(lái)監(jiān)測(cè)傳感器繞組上溫度相關(guān)的電阻梯度,該梯度與瞬時(shí)流量成線性比例。
產(chǎn)生0到5Vdc或4到20mA的輸出信號(hào),指示計(jì)量氣體的基于質(zhì)量分子的流量。
在AFC質(zhì)量流量控制器中,組合氣體流通過(guò)具有適當(dāng)選擇的孔的比例電磁閥。閉環(huán)控制電路持續(xù)監(jiān)控質(zhì)量流量輸出,并將其保持在設(shè)定流量。
在規(guī)定的限制范圍內(nèi),流速不受溫度和壓力變化的影響。
AFC質(zhì)量流量控制器包括一個(gè)電磁控制閥,允許將流量設(shè)置為特定型號(hào)范圍內(nèi)的任何所需流量。作為一種安全功能,閥門通常處于關(guān)閉狀態(tài),以確保在斷電時(shí)關(guān)閉氣流。
AFC質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于測(cè)量和控制氣體流量,流量范圍從10 sccm到100 slpm[N2]。氣體通過(guò)1/4“、3/8”或可選的1/8“壓縮配件連接。這些控制器可用作臺(tái)式裝置或用螺絲固定在底座上。
傳感器電源端口有保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)。
泄漏完整性
1 x 10-9 smL/sec的氦氣,最大到外部環(huán)境。
質(zhì)量流系統(tǒng)
完整的質(zhì)量流系統(tǒng)包括命令模塊、傳感器和電纜。命令模塊包含適當(dāng)?shù)碾娫础?-1/2“數(shù)字LED讀數(shù)和高精度的數(shù)字面板儀表電位計(jì).外部RS-232或RS-485是可選的。
命令模塊前面板中的開關(guān)可選擇本地或遠(yuǎn)程參考信號(hào),模擬輸出可通過(guò)方便的9針D型連接器訪問(wèn)。
特點(diǎn)
剛性金屬結(jié)構(gòu)
可用流量范圍從0到10 sccm到0到100 slpm
最大壓力為1000 psig(70巴)
0-5 Vdc或4-20 mA信號(hào)
氦泄漏完整性1 x 10-9 smL/sec
滿標(biāo)度精度±1%
累加器選項(xiàng)
電路保護(hù)
技術(shù)參數(shù)
所用技術(shù):熱量
液體類型:用于氣體
其他特性:精z, 不銹鋼, 模擬
流量:最少: 0 l/min (0 us gal/min),最多: 100 l/min (26 us gal/min)
壓力:70 bar (1,015 psi)
Aalborg質(zhì)量流量計(jì)不銹鋼AFC26S-BAN5-D0