應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,能源,印刷包裝,冶金 |
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在產(chǎn)品開發(fā)中,掃描式激光測振儀能可靠、精確地完成振動測量任務(wù)。振型和本征模式檢測有助于解決從 NVH、聲學(xué)和結(jié)構(gòu)動力學(xué)到超聲波分析、FEM驗證和無損測試一切問題。
參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-15 12:30:58瀏覽次數(shù):830
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德國POLYTEC激光測振儀原裝正品
自然和科技領(lǐng)域的振動測量需要靈活和理想的無損檢測工具,非接觸式激光多普勒測振儀無疑是較佳選擇。在工業(yè)研究和開發(fā)中, 激光測振儀被用于研究不同尺寸物體的動態(tài)和聲學(xué)特性, 從整個車身、飛機部件、發(fā)動機和建筑物到MEMS系統(tǒng)和數(shù)據(jù)硬盤組件。
其已被廣泛地應(yīng)用于機械工程、聲學(xué)及其它工程學(xué)科和科學(xué)領(lǐng)域中,甚至可以對熱物體、旋轉(zhuǎn)表面、超聲波工具和復(fù)雜敏感的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量。
德國Polytec公司專業(yè)從事激光測振儀的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,已經(jīng)成為*的非接觸式振動測量系統(tǒng)的,能為客戶提供在科研、開發(fā)、生產(chǎn)和長期監(jiān)測中,所面臨的所有與振動相關(guān)問題的完整有效解決方案。Polytec產(chǎn)品種類齊全:單點或差分測量,旋轉(zhuǎn)或面內(nèi)振動測量,MEMS系統(tǒng)的顯微式振動測量,或大型物體的結(jié)構(gòu)振動。
德國POLYTEC激光測振儀原裝正品
MSA-600顯微式激光測振儀
表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構(gòu)的測試和研發(fā)的關(guān)鍵,這對于驗證有限元算法、確定串?dāng)_效應(yīng)和測量表面形變是*的。
MSA-600是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。系統(tǒng)具有*的靈活性和精度,以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能,從而縮短設(shè)計周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
典型應(yīng)用
· 微型結(jié)構(gòu)的面外振動,測量單點振動或者兩點間的相對振動
如:梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動
如:梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌
如:梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
· 集多功能于一體的光學(xué)測量工作站
· 真正的實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測量速度快,振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動化測量,易于集成至商用探針臺上
MSA-600系統(tǒng)配置 | |
基本配置 | 面外振動大頻率為2.5 MHz |
選配件 | |
頻率擴展 | 面外振動大頻率達(dá)25 MHz |
差分測量 | 面外振動可進(jìn)行差分測量 |
面內(nèi)運動分析 | 面內(nèi)振動測量 |
形貌測量 | 表面形貌測量 |
面外振動測量 | ||
測量原理 | 激光多普勒原理 | |
型號 | MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) | MSA-600-V (帶寬擴展) |
大頻率 | 2.5 MHz | 25 MHz |
檔位數(shù)量 | 13 個速度檔位 | 13 個速度檔位 |
大振動速度 | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) |
速度分辨率均值1 | 0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) | 0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) |
位移分辨率 | 50 fm/√Hz | 50 fm/√Hz |
面內(nèi)振動測量 | ||
測量原理 | 頻閃法 | |
型號 | MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊 | |
帶寬 | 1 Hz … 2.5 MHz | |
大速度 | > 0.1 m/s … 10 m/s(與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)) | |
鏡頭放大倍數(shù)2 | 1x … 100x | |
位移分辨率3 | 5 nm | |
時間分辨率 | 100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃大間隔時間 ±40 ns | |
系統(tǒng)輸出 | 位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等 |
1 均值是根據(jù)所在檔位的大頻率fmax計算而來。
2 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請見后附表格。
3 隔振臺上每個頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。
形貌測量 | ||
型號 | MSA-600 帶形貌測量模塊 | |
垂直測量范圍 | 250 μm | |
標(biāo)稱樣本增量 | 80 nm | |
評估程序4 | 光滑表面 | 粗糙表面 |
分辨率(RMS) 5 | 45 pm | 1.2 nm |
單次測量分辨率(RMS) | 300 pm | 14 nm |
可重復(fù)精度6 | 500 pm | 20 nm |
評估平整度偏差7 | < 5 nm | < 50 nm |
可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1) | ||
可重復(fù)精度8 | 0.07 % | |
擴展不確定度9 | 0.35 % |
4“光滑表面”:自相關(guān)相位評估。“粗糙表面”自相關(guān)譜包絡(luò)線評估
5 在阻尼振動溫控條件下,對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。
6 稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差
7 平面度的平均值(遵循ISO 1101)
8 30次階躍高度測量的均方根偏差,校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。
9 在重復(fù)條件下,將30次連續(xù)測量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。
光學(xué)部分技術(shù)參數(shù) | |
MSA-I-600 光學(xué)頭 | |
激光波長 | 532 nm |
激光安全等級 | class 3R (可見光輸出小于5 mW) |
照明光源波長 | 470 nm |
照明光源安全等級 | class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW) |
攝像機 | 全場逐行掃描 |
攝像機分辨率 | 1732 x 1200 像素 |
攝像機幀速 | 大 56 fps |
面外面內(nèi)顯微鏡頭 | 放大倍數(shù) | 工作距離 (WD) mm | 光斑直徑 (1/e2) μm | 視場 mm x mm |
A-MOB-001X | 1 | 13 | 46 | 10.0 x 7.0 |
A-MOB-002X | 2 | 34 | 23 | 5.1 x 3.5 |
A-MOB-005X | 5 | 34 | 9.3 | 2.0 x 1.4 |
A-MOB-010X | 10 | 33.5 | 4.6 | 1.0 x 0.7 |
A-MOB- 010B-LD | 10 | 48.9 | 4.6 | 1.0 x 0.7 |
A-MOB-020X | 20 | 20 | 2.3 | 0.51 x 0.35 |
A-MOB-050X | 50 | 13 | 1.4 | 0.20 x 0.14 |
A-MOB-100X | 100 | 6 | 0.8 | 0.10 x 0.07 |
形貌顯微鏡頭 | 放大倍數(shù) | 工作距離 (WD) mm | 類型 | 視場 mm x mm |
A-IOB-02X5-B | 2.5 | 10.3 | Michelson | 4.0 x 2.8 |
A-IOB-005X-B | 5 | 9.3 | 2.0 x 1.4 | |
A-IOB-010X-B | 10 | 7.4 | Mirau | 1.0 x 0.7 |
A-IOB-020X-B | 20 | 4.7 | 0.51 x 0.35 | |
A-IOB-050X-B | 50 | 3.4 | 0.20 x 0.14 | |
A-IOB-100X-B | 100 | 2 | 0.10 x 0.07 |