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德國MAGNESCALE激光天平原裝*
特征
高速高分辨率，同時保持穩(wěn)定的超精密測量。非常適合精密工作臺、半導(dǎo)體檢測/制造系統(tǒng)和超精密加工機器。
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
德國MAGNESCALE激光天平原裝*
Magnescale磁柵尺、磁尺、光學(xué)尺、光柵尺，電子尺、反饋尺、位移傳感器、檢測器、變送器、探規(guī)、數(shù)顯表、電纜、讀數(shù)頭、高度規(guī)、數(shù)字規(guī)、探針等系列產(chǎn)品。Magnescale一直在為中國國內(nèi)有高精度、小行程、超長、惡劣環(huán)境等的位移精密檢測的顧客提供著優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。Magnescale產(chǎn)品主要應(yīng)用于：冶金制造業(yè)，汽車制造業(yè)，電子半導(dǎo)體制造業(yè)，金屬加工機械、木工機械，石材機械等。若需進一步了解產(chǎn)品的信息，請與我們聯(lián)系。
德國MAGNESCALE激光天平原裝*
BS78激光天平
特征
高速高分辨率，同時保持穩(wěn)定的超精密測量。非常適合精密工作臺、半導(dǎo)體檢測/制造系統(tǒng)和超精密加工機器。
- 高分辨率標(biāo)尺，信號間距約為。138納米，優(yōu)于光波干涉儀系統(tǒng)
- 高穩(wěn)定性，不受濕度、氣壓和空氣擾動的影響
- 基準(zhǔn)點精度:0.1μm
- 刻度精度:0.04μm(測量長度:40 mm)
- 非接觸式設(shè)計消除了返回誤差。
- 提供特殊的非磁性和真空兼容型號
- 使用低膨脹玻璃:-0.7 x 10-6/℃(測量長度:10至420毫米)
規(guī)格
| 規(guī)格 | ||
|---|---|---|
Magnescale保留更改產(chǎn)品規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。 | ||
| 模型 | BS78 | |
| 測量長度 | 10(僅編號)/40/70/120/170/220/270/320/370/420 | |
| 全長 | 58毫米(升= 10毫米:開放式秤)，升+26毫米(升= 40毫米至420毫米) l:測量長度 | |
| 麥克斯。旅行 | L + 2mm (L=10mm:開放式秤)，L +10mm (L= 40mm至420mm) l:測量長度 | |
| 刻度精度(20攝氏度時) |
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| 光柵間距 | 大約。0.55μm | |
| 信號間距 | 大約。0.138μm(約。138nm) | |
| 參考點精度 | 0.1μm(僅電阻/電阻型) | |
| 參考點位置 | 在中間，從中間向左每隔50毫米 右側(cè)(BS78型號，測量長度為320，370，420毫米: 以50毫米的間隔偏離中心20毫米) | |
| 基準(zhǔn)點檢測方向 | 單向 | |
| 返回錯誤 | 這幾乎被消除了。應(yīng)該被認(rèn)為是 所用檢測器的分辨率限制小于兩個。 | |
| 可重復(fù)性 | 這幾乎被消除了。應(yīng)該被認(rèn)為是 所用檢測器的分辨率限制小于一個。 | |
| 熱膨脹系數(shù) | -0.7×10-6/℃ | |
| 光源 | 半導(dǎo)體激光器:波長790納米，輸出6mW | |
| 輻射功率 | DHHS一班 | |
| 檢測原理 | 衍射光柵掃描系統(tǒng) | |
| 工作溫度 | 10至30℃(無冷凝) | |
| 儲存溫度 | -10至50℃(濕度60%或更低) | |
| 麥克斯。響應(yīng)速度 | 400毫米/秒(當(dāng)與BD96連接時) | |