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產(chǎn)品簡介
特征
高速高分辨率,同時(shí)保持穩(wěn)定的超精密測(cè)量。非常適合精密工作臺(tái)、半導(dǎo)體檢測(cè)/制造系統(tǒng)和超精密加工機(jī)器。
詳細(xì)介紹
德國MAGNESCALE激光天平原裝*
Magnescale磁柵尺、磁尺、光學(xué)尺、光柵尺,電子尺、反饋尺、位移傳感器、檢測(cè)器、變送器、探規(guī)、數(shù)顯表、電纜、讀數(shù)頭、高度規(guī)、數(shù)字規(guī)、探針等系列產(chǎn)品。Magnescale一直在為中國國內(nèi)有高精度、小行程、超長、惡劣環(huán)境等的位移精密檢測(cè)的顧客提供著優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。Magnescale產(chǎn)品主要應(yīng)用于:冶金制造業(yè),汽車制造業(yè),電子半導(dǎo)體制造業(yè),金屬加工機(jī)械、木工機(jī)械,石材機(jī)械等。若需進(jìn)一步了解產(chǎn)品的信息,請(qǐng)與我們聯(lián)系。
德國MAGNESCALE激光天平原裝*
BH20旋轉(zhuǎn)激光天平
特征
緊湊、反射式旋轉(zhuǎn)激光標(biāo)尺,具有高精度、高分辨率和高響應(yīng)速度。非常適合硬盤制造設(shè)備、精密測(cè)量儀器和非球面加工機(jī)械中的高分辨率角度測(cè)量。
- 信號(hào)間距:250納米
- 高響應(yīng)速度:1,800毫米/秒(使用模擬輸出時(shí))。
700毫米/秒(當(dāng)與BD96連接時(shí))
160分鐘-1(當(dāng)使用r = 41mm毫米刻度時(shí))
555分鐘-1(當(dāng)使用r = 12mm毫米刻度時(shí)) - 高分辨率:4,194,304,000個(gè)脈沖/旋轉(zhuǎn)
(當(dāng)使用r = 41mm毫米刻度時(shí),刻度=4000)
3.09 x 10-4s
=1.5nrad - 有/沒有參考點(diǎn)可用
- 厚度為12毫米的薄頭
- 提供各種分辨率和輸出模式的插值器(BD96)
- 提供特殊的真空兼容型號(hào)
規(guī)格
探測(cè)器頭規(guī)格 | ||
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模型 | BH20-紅色 | BH20-NED |
檢測(cè)原理 | 衍射光柵掃描系統(tǒng) | |
光源 | 半導(dǎo)體激光器:波長790納米,輸出6mW | |
信號(hào)間距 | 250納米 | |
控制點(diǎn) | 帶參考點(diǎn) | 沒有人 |
基準(zhǔn)點(diǎn)檢測(cè)方向 | 單向 | 沒有人 |
麥克斯。響應(yīng)速度 | 700毫米/秒(當(dāng)與BD96連接時(shí)) | |
工作溫度 | 10至30℃(無冷凝) | |
儲(chǔ)存溫度 | 0至50℃(無冷凝) |
信號(hào)標(biāo)尺(BE10)規(guī)格 | |||||
---|---|---|---|---|---|
(*1)當(dāng)使用長度為1m的電纜和模擬輸出時(shí)。然而,大響應(yīng)速度取決于電纜長度。 *當(dāng)天平和探測(cè)器頭分開購買時(shí),需要進(jìn)行信號(hào)調(diào)整。 Magnescale保留更改產(chǎn)品規(guī)格的權(quán)利,恕不另行通知。 | |||||
檢測(cè)半徑 | 12.032毫米 | 27.073毫米 | 36.097毫米 | 41.723毫米 | |
外形 | 內(nèi)徑 | 8.5毫米 | 37毫米 | 57毫米 | 68毫米 |
外徑 | 27毫米 | 60毫米 | 78毫米 | 89毫米 | |
光柵間距 | 1.0μm | ||||
輸出脈沖數(shù) 一圈的 | 302,400 | 680,400 | 907,200 | 1,048,576 | |
麥克斯。響應(yīng)速度(*1) | 1,428分鐘-1 | 634分鐘-1 | 476分鐘-1 | 411分鐘-1 |
模型 | BS78 | |
測(cè)量長度 | 10(僅編號(hào))/40/70/120/170/220/270/320/370/420 | |
全長 | 58毫米(升= 10毫米:開放式秤),升+26毫米(升= 40毫米至420毫米) l:測(cè)量長度 | |
麥克斯。旅行 | L + 2mm (L=10mm:開放式秤),L +10mm (L= 40mm至420mm) l:測(cè)量長度 | |
刻度精度(20攝氏度時(shí)) |
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光柵間距 | 大約。0.55μm | |
信號(hào)間距 | 大約。0.138μm(約。138nm) | |
參考點(diǎn)精度 | 0.1μm(僅電阻/電阻型) | |
參考點(diǎn)位置 | 在中間,從中間向左每隔50毫米 右側(cè)(BS78型號(hào),測(cè)量長度為320,370,420毫米: 以50毫米的間隔偏離中心20毫米) | |
基準(zhǔn)點(diǎn)檢測(cè)方向 | 單向 | |
返回錯(cuò)誤 | 這幾乎被消除了。應(yīng)該被認(rèn)為是 所用檢測(cè)器的分辨率限制小于兩個(gè)。 | |
可重復(fù)性 | 這幾乎被消除了。應(yīng)該被認(rèn)為是 所用檢測(cè)器的分辨率限制小于一個(gè)。 | |
熱膨脹系數(shù) | -0.7×10-6/℃ | |
光源 | 半導(dǎo)體激光器:波長790納米,輸出6mW | |
輻射功率 | DHHS一班 | |
檢測(cè)原理 | 衍射光柵掃描系統(tǒng) | |
工作溫度 | 10至30℃(無冷凝) | |
儲(chǔ)存溫度 | -10至50℃(濕度60%或更低) | |
麥克斯。響應(yīng)速度 | 400毫米/秒(當(dāng)與BD96連接時(shí)) |