產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
山東半導(dǎo)體潔凈車間設(shè)計裝修
半導(dǎo)體生產(chǎn)制造按照其制造技術(shù)可以分為:集成電路器件、分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類,如若細分還會有*多的分類方式。半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境要求*嚴(yán),其涉及數(shù)百個制造工序,由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性,為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命,對生產(chǎn)場所的環(huán)境,如溫度、濕度,壓力、通排風(fēng)量、潔凈度等都有嚴(yán)*要求。
半導(dǎo)體集成電路芯片生產(chǎn)廠房在工業(yè)建筑中屬潔凈建筑,相對其它工業(yè)建筑它的內(nèi)部裝修設(shè)計難度*大。像芯片生產(chǎn)工序廠房整個潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級均按100級設(shè)計,個別10級區(qū)域只需要用設(shè)備手段解決,不用*門設(shè)置這個潔凈級別的潔凈室。其他工序生產(chǎn)環(huán)境要求隨生產(chǎn)工藝而定,潔凈度的要求也并不是越*越*,潔凈度*高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。
一般在達到百級的半導(dǎo)體潔凈室平面裝修方案中,設(shè)計師依然會和千級、萬級、十萬級等潔凈標(biāo)準(zhǔn)一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來做精確的平面布局和配套系統(tǒng)設(shè)計:工作人員的凈化路線為:入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風(fēng)淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。物品的凈化路線為:入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。
山東半導(dǎo)體潔凈車間設(shè)計裝修,按照兩種凈化路線,分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機房、超純水處理站可以安排在同一層,使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范"和“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范"的要求設(shè)置布局。