PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機產(chǎn)品特點：

•         13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性

•         靈活的電極結(jié)構(gòu)設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性

•         PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制，設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

•         系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護

標準腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu)，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果

最多支持擴展至8片電極

每對電極間為獨立空間

批處理電極改變了標準的平行板電極結(jié)構(gòu)

通過優(yōu)化的電場和進氣設計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。

PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機應用：

•         表面清潔與活化

•         表面有機污染物與金屬氧化物的去除

•         增強表面膠體流動性，消除涂層分層

•         提升表面能，實現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

•         表面粗化及微刻蝕

•         納米級表面粗化，應力釋放

•         光刻膠、殘膠的去除

•         對多種材料的選擇性刻蝕