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KW4T觸摸版高性能涂膠系統(tǒng)
?廣泛應用于半導體，集成電路，材料，微光學，生命科學，凝聚態(tài)物理，化學等科學研究與生產。
?可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。
?20年精心打造核心技術， KW4T全觸摸屏高性能勻膠機全新上市！性能全面提升，全新外觀！
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產品簡介
詳細介紹
20年精心打造核心技術， KW4T型勻膠機的觸摸屏升級版全新上市！
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高性能旋涂系統(tǒng)
High-performance Spin Coater
KW4T觸摸版高性能涂膠系統(tǒng)
- 廣泛應用于半導體，集成電路，材料，微光學，生命科學，凝聚態(tài)物理，化學等科學研究與生產。
- 可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。
- 20年精心打造核心技術， KW4T全觸摸屏高性能勻膠機全新上市！性能全面提升，全新外觀！
型號 | KW4T |
轉速 | 300-9000 RPM |
轉速穩(wěn)定性 | 1RPM |
旋涂均勻性（*性） | <1%（片內）；<1%（片間） |
基片尺寸 | Φ5-Φ100mm圓片，大100mm×100mm方片 |
顯示/程序控制 | 全觸摸屏操作，快速啟動，人性化界面 6步工藝調速設計，0-1800s時間可調，專業(yè)用戶較適合需求 |
整機尺寸（mm3） | 280×220×160 |
工藝支持 | 依托中科院微電子所工藝平臺，提供*微納加工工藝支持 |
適應材料/工藝支持 | 適合硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP等各種材料，工藝服務 |
特殊夾具定制 | 20年特殊夾具設計經驗，*匹配超薄、異形、脆性易碎樣品 |
電機功率 | 40W |
抽氣速率 | >60L/min |
配置 | 主機+真空泵+基片三個（5-45毫米的圓形基片任意選擇） |
質量保證 | 中科院微電子所設計制造，通過ISO9000質量體系認證 |