溫控模塊

冷熱方式

液氮致冷，電阻加熱

溫控范圍

-190～600℃ *

溫度穩(wěn)定性

±0.1℃ *

溫度分辨率

0.1℃

升降溫速率

0~50℃/min（可定點(diǎn) / 程序段控溫）

溫控方式

PID

溫度傳感器

PT100

光學(xué)特性

光路

反射光路 *可升級(jí)為透射光路

視窗材質(zhì)

石英玻璃 *

視窗尺寸

Φ25mm *

物鏡工作距離

8mm *

10mm *

12.5mm *

透光孔

默認(rèn)無(wú)透光孔 *可升級(jí)透光孔

視窗除霜

負(fù)溫下吹氣除霜

電學(xué)特性

探針

磁吸式探針x4（鎢鋼鍍金），手動(dòng)定位 *

固定式探針x4，手動(dòng)定位 *

電控位移探針x2 *

探針接口

BNC接口x4 *

樣品臺(tái)面電位

默認(rèn)電懸空 *可選電接地

結(jié)構(gòu)特性

樣品臺(tái)尺寸

23×23mm *

樣品臺(tái)材質(zhì)

銀質(zhì) *

外形尺寸

120×100×30mm *

160×150×30mm *

110×170×45mm *

樣品腔高度

7mm *

8.5mm *

10.5mm *

XYZ位移行程

\

\

±6mm

探針位移精度

\

\

5nm

腔室

氣密 *可升級(jí)真空

外殼冷卻

循環(huán)水

基本配置

微型探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干

探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干

電控探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1（高溫配置）、連接管路若干

其他配置

電腦主機(jī)/安裝支架/真空系統(tǒng)/三同軸BNC/循環(huán)水系統(tǒng)/定制溫控軟件