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Sievers 在線型超純水硼分析儀Boron硼表
  • Sievers 在線型超純水硼分析儀Boron硼表
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貨物所在地:上海上海

更新時間:2024-12-12 21:00:08

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Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用,實現(xiàn)對超低硼含量的連續(xù)自動在線監(jiān)測。該分析儀每小時能夠檢測10個樣品,具有15 ppt硼的檢測極限(LOD)。Sievers硼分析儀設(shè)計用于滿足設(shè)備管理人員、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。

產(chǎn)品簡介

Boron.jpg

 

借助Sievers超純水硼分析儀對硼進(jìn)行持續(xù)的在線監(jiān)測

Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用,實現(xiàn)對超低硼含量的連續(xù)自動在線監(jiān)測。該分析儀每小時能夠檢測10個樣品,具有15 ppt硼的檢測極限(LOD)。Sievers硼分析儀設(shè)計用于滿足設(shè)備管理人員、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。

 

易于操作和維護(hù)

Sievers硼分析儀可以預(yù)測混床失效、優(yōu)化EDI性能并控制拋光循環(huán)水的硼水平。這款硼分析儀可以在二氧化硅釋放前檢測到硼含量的增加,這有助于防止二氧化硅滲漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著降低運營成本,保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。

 

硼分析儀的特點與優(yōu)勢

在挑戰(zhàn)的應(yīng)用中提供更高的可靠性和更長的正常運行時間  

  • 連續(xù)在線監(jiān)測低至15 ppt的硼

  • 多流路選項——多四個樣品流

  • 豐富的輸出選擇——四個獨立的4-20 mA輸出,一個獨立的RS-232,一個通用并行打印機(jī)端口,兩個報警輸出和四個獨立的二進(jìn)制輸出

  • 少的維護(hù)與耗材需求

  • 配件包包含安裝所需的配件

 

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體超純工藝水

  • 超純水電力應(yīng)用

 

運行規(guī)格

濃度范圍0.015至20 ppb B
檢測限(LOD)0.015 ppb B
準(zhǔn)確度± 0.01 ppb B <0.05 ppb B
± 15% >0.05 ppb B
精確度± 3%或0.005 ppb B(以較高者為準(zhǔn))
小樣品
電阻率

15 megaohms–cm

樣品溫度15°-40°C
樣品流速0.1 -0.5 L/分鐘
環(huán)境溫度10°C–40°C
樣品壓力20-100 psig(138-689 kPa)
校準(zhǔn)穩(wěn)定性通常12個月
樣品顆粒15微米樣品預(yù)過濾
廢物重力排放(無背壓)

儀器規(guī)格

輸入5個隔離二進(jìn)制輸入
輸出4個獨立4-20 mA輸出,1個獨立RS-232,1個通用并行打印機(jī)端口,2個報警輸出,4個獨立二進(jìn)制輸出
尺寸

20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸(53 x 44 x 31 cm)

重量48 lbs(22kg)
認(rèn)證CE(點擊此處獲取符合性聲明)

耗材

硼試劑90天(12分鐘取樣率)
45天(6.5分鐘取樣率)
試劑柱12個月
零柱12個月
 

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