Agilent安捷倫TSP常溫屏蔽罩和低溫?fù)醢逶O(shè)計用于與 TSP泵芯結(jié)合使用。兩種產(chǎn)品都為鈦濺射提供了較大的表面積。如果在超高真空等真空下使用，低溫?fù)醢澹ǖ蜏卣郑┛稍谒?液氮冷卻下使用。如果不能或不希望進(jìn)行冷卻，常溫屏蔽罩可以提供比未冷卻低溫板更高的抽速。

使用常溫屏蔽罩或低溫?fù)醢迮cTSP泵芯，提高活性氣體的抽速，更快達(dá)到超高真空等真空狀態(tài)。常溫屏蔽罩可以為活性氣體提供高抽速。在非常低的壓力下，殘留氣體負(fù)荷為氫氣，當(dāng)升華鈦處于低溫罩提供的較低溫度時，氫氣的抽除效率較高。

產(chǎn)品特點(diǎn)

·低溫?fù)醢寤虺仄帘握挚蔀?TSP 的升華鈦提供更大的表面積，避免真空系統(tǒng)發(fā)生不需要的鈦膜沉積。

·用液氮冷卻時低溫?fù)醢蹇蛇_(dá)到很高性能。

·TSP低溫?fù)醢蹇稍谒鋮s或液氮冷卻下運(yùn)行。

·常溫屏蔽罩不需要冷卻。

·可與具有雙法蘭或帶側(cè)孔的離子泵集成。

·安裝在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上，還包括一個用于安裝 TSP 泵芯的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。

·可獨(dú)立安裝在深度/間隙為 11 英寸的任意 8 英寸 (NW 150) CFF 接口上。

·不包括 TSP 泵芯。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型