在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，檢測是提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，主要針對晶圓上的物理缺陷和圖案缺陷。光學(xué)檢測憑借非接觸、快速和低成本的優(yōu)勢成為主流方案，而光源的性能直接影響檢測效率與可靠性--高亮度、高穩(wěn)定和多波長選擇缺一不可。
傳統(tǒng)鹵素?zé)粢驂勖蹋?lt;1000小時）、亮度不足、紫外波段覆蓋差且面臨環(huán)保淘汰，已無法滿足需求。Revox的SLG系列光纖光源以超高亮度、＞2萬小時超長壽命和紫外到紅外的多波長覆蓋，成為半導(dǎo)體、顯示及PCB檢測的理想選擇，助力客戶實現(xiàn)更高效、穩(wěn)定的檢測流程。
01 紫外光纖光源
短波長、高精度（SLG-150V-UV系列）
非常適合替換汞燈
高輻射亮度：4.9W@365nm、8.2W@385nm、7.6W@405nm
除 3 種標準波長外，還可定制11種紫外波長
02 可見光光纖光源
經(jīng)濟之選（SLG-150V/165V系列）
照度>500萬LUX，遠超250W金屬鹵化物光源
波長可選白色（CW/DW）R、G、B
165V系列支持5孔電動濾色片轉(zhuǎn)盤
多端口、分時頻閃（SLG-150HSP系列）
支持3路獨立輸出，節(jié)省空間
可自由選配顏色W、R、G、B
支持高速頻閃結(jié)合高速切換功能，可輕松實現(xiàn)分時頻閃/光譜頻閃
超亮、自由混光（SLG-450系列）
超高照度超過2500萬LUX
R、G、B混合比例可調(diào)、鎖定，單口輸出各種顏色光
支持常亮、頻閃模式，可設(shè)置8組亮度值
旗艦、超亮之選（SLG-600V2系列）
＞5500萬LUX超高照度，氙燈升級優(yōu)選
可選支持5孔位電動濾色片轉(zhuǎn)盤
1μs極速頻閃，高速切換任意設(shè)定的亮度
03 紅外光纖光源
更強的穿透性（SLG-150V-NIR系列）
740-1650nm全紅外波段覆蓋，11種波長可選，替代鹵素光源
超長壽命可達3萬小時，遠超鹵素?zé)?/span>
01 良好的線性度
支持1024級調(diào)光，獨特校正功能，實現(xiàn)調(diào)光線性
02 照明穩(wěn)定
環(huán)境適應(yīng)性強，亮度波動≤±3%
03 照度反饋系統(tǒng)
智能照度反饋，維持恒定光輸出
注：SLG-150/165系列需選配；SLG-450/SLG-600系列標配
04 豐富的光纖波導(dǎo)選擇
可選或定制點、環(huán)、線、面等光波導(dǎo)
01 晶圓表面缺陷檢測--可見光光纖光源
超亮白光搭配線掃TDI相機，顯著縮短曝光時間，大幅提升晶圓掃描效率
02 晶圓內(nèi)部缺陷檢測--紅外光纖光源
紅外高穿透特性，直達內(nèi)部缺陷
03 晶圓表面微小缺陷檢測--紫外光纖光源
突破可見光極限，微痕精準成像
04 多缺陷檢測--分時頻閃成像
單工位實現(xiàn)3種光場成像，多類缺陷檢出
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