德國PI位移平臺

I的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導向精度與小串擾相結(jié)合。這使其特別適合于計量學，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達6個自由度的情況下可達幾百赫茲。

專有的傳感器設計，無摩擦的撓性導軌和長壽命的PICMA®壓電執(zhí)行器的*結(jié)合，帶來了出色而堅固的機械性能。壓電運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進行集成，并進行舒適的編程。

多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達6個軸上以亞納米級的精度進行定位和掃描，包括，傾斜和偏航運動。版本范圍從緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的方位工具。應用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準，并隨測量記錄一起提供。 

XYZ緊湊型壓電立方體

P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)
緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
帶有孔的XYZ壓電位移臺

P-733.3 XYZ壓電納米定位器
高精度XYZ光圈掃描儀

P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺
高精度納米定位器，多可容納3個軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀
高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能
Z //傾斜壓電撓性位移臺

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺
大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-541.Z•P-541.T壓電Z平臺/ Z和傾斜/傾斜平臺
薄型，大光圈

P-518•P-528•P-558壓電Z / Tip / Tilt平臺
大光圈高動態(tài)
6軸壓電位移臺

P-587 6軸精密壓電位移臺
長行程，直接位置測量

P-562.6CD PIMars 6軸納米定位平臺
具有6個自由度的高精度納米定位器

用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務方面具有很高的動態(tài)性。標準產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進行了預校準。 

XY壓電撓性位移臺

高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計量傳感器，可以實現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復，無漂移的定位。

用于小負載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進運動提高了光學系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器
用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺
行程范圍可變的高精度XY納米定位器
XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)
緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺
大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器
高精度XY光圈掃描儀
PI P-734.2CL
P-734 XY壓電掃描儀
具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)
PI P-763
P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)
光圈清晰
低剖面，經(jīng)濟高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率
P-713 XY壓電掃描儀
具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)
用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)
電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)
快速XY（Z）平臺用于高動態(tài)顯微鏡

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