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日本KOSAKA小坂 臺(tái)階儀ET4000系列

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更新時(shí)間:2020-05-16 15:13:03瀏覽次數(shù):1516

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 地礦,建材/家具,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件
日本KOSAKA小坂 臺(tái)階儀ET4000系列

KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述:

● 高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。

 

● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。

 

● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。


● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。

 

● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī)。

 

● ET4300一適合12"樣品測量。

 

●各機(jī)型詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)與區(qū)域銷售聯(lián)系。

 

臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)

 

大試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)
測定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

 

臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺(tái)階儀測量薄膜厚度,臺(tái)階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動(dòng)探索樣品表面

日本KOSAKA小坂 臺(tái)階儀ET4000系列

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