ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器-周經(jīng)理
ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器-周經(jīng)理
MC–氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)氣流控制,可抑制壓力波動
出色的MFC只需要做好一件事:將流速保持在設(shè)定點(diǎn)即可。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器即使在壓力峰值的情況下也能迅速達(dá)到新的設(shè)定值并保持在該位置。我們將使用您的應(yīng)用程序參數(shù)來自定義閥門和PID調(diào)整,以確保其提供快速穩(wěn)定的控制。
- 多才多藝。在監(jiān)控流量的同時控制壓力,動態(tài)選擇其他氣體校準(zhǔn)或使用COMPOSER™定義自己的氣體成分。
- 連接的。 通過以太網(wǎng)/ IP,EtherCAT,DeviceNet,Profibus,Modbus(RTU和TCP / IP)或串行通訊選件輕松集成到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
- 耐用。 MC系列流量控制器可以使液體暫時流動而不會被破壞。為了提高環(huán)境穩(wěn)定性,我們可以為您的MFC提供IP66防護(hù)等級。
性能
- 可用范圍:大0-5000 slpm,小0-0.5 sccm / 0-500sμlm(庫存范圍請參見“零件編號”標(biāo)簽)
- 穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的0.01%– 100%。
- 標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn),可溯源NIST:+/-(大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.6%)
- 可選的高精度校準(zhǔn),可追溯到NIST:+/-(大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.5%)
- 重復(fù)性:讀數(shù)的+/- 0.1%+滿量程的0.02%
- 典型的控制響應(yīng)時間常數(shù):50-100毫秒(PID調(diào)整低25毫秒)
- 無需預(yù)熱時間
運(yùn)行條件
- 兼容氣體:98(MC)或130(MCS)預(yù)裝的可選氣體校準(zhǔn);可使用COMPOSER定義的其他混合物
- 工作溫度:-10°C+ 60°C
- 大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
- 耐壓力:175 psig(190 psia)
- STP / NTP:用戶可選(默認(rèn)為25°C&1 atm STP / 0°C&1 atm NTP)