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合肥科晶GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品概述：

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

主要特點(diǎn)：

• 真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。

• 采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

• 真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個(gè)CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，4個(gè)備用，便于安裝其他設(shè)備）。

• 在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。

• 4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板，有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。

· 樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。

· 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，精度為10?。

• 可使用循環(huán)水冷機(jī)。

合肥科晶GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀

技術(shù)參數(shù)：

• 輸入：?jiǎn)蜗郃C208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW

• 輸出：0-8V AC 可調(diào)，大電流400A，大功率8000W（包括真空泵）

• 真空腔：Φ300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

• 腔門：Φ200mm

• 觀察窗：Φ95mm，采用密封圈密封

• 真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s（標(biāo)配GZK-103G分子泵）

• 真空度：5.0×10-6torr（泵開(kāi)啟40min后）

· 極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

· 漏率：5.0×10-7Pa/s

· 樣品臺(tái)：Φ140mm

· 蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距：260mm

• 冷卻水需量：15L/min

產(chǎn)品尺寸：

• 尺寸：650mm×1200mm×1600mm；

• 重量：600kg