半導體加工行業(yè)應用案例分享

縱觀半導體設備的發(fā)展歷史，不難發(fā)現(xiàn)半導體設備緊隨芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

隨著中國制造技術的不斷發(fā)展，與本身龐大的市場需求相互幫襯，未來十年，中國有望成為半導體芯片制造的中心。

目前，在國家重大科技專項的支持下，集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質(zhì)刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產(chǎn)線的設備國產(chǎn)化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩(wěn)定性等性能要達到*的標準外，傳感器也被要求實現(xiàn)更多的檢測任務。

作為有著超過75年歷史的工業(yè)傳感器生產(chǎn)廠商，SICK具有深厚的技術積累，豐富的產(chǎn)品種類，可以為半導體設備廠商提供更多樣的產(chǎn)品、更優(yōu)異的性能以及更專業(yè)的服務。

1、硅板厚度測量

產(chǎn)品系列：OD5000位移測量傳感器 訂貨號：6063621

客戶應用:太陽能硅片分選機，客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度，精度要求為2um

采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來測量硅片的厚度

客戶利用上位機接受數(shù)據(jù)做算法處理，判定硅片的規(guī)格

客戶受益:

雙頭側(cè)厚，通過以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內(nèi)部評價單元，無需額外控制器計算

高達80kHZ測量頻率，準確測量微小變化

激光定位更加柔性，可視覺，產(chǎn)品定位精度更高

實時在線測量，相對于線激光方案，節(jié)省成本，精度更高

2、石英載具到位檢測

產(chǎn)品系列：WTF12G 訂貨號：1065719

客戶應用：石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

需要對半透明石英載具進行穩(wěn)定到位檢測，由于熱處理中溫度較高，無法安裝反射板，只能選擇漫反射。

檢測距離較遠，無法使用V鏡頭光電傳感器。

客戶受益：

WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無需反射板，只需對背景進行示教即可

可以穩(wěn)定地檢測透明、半透明等物體

檢測距離可達700mm