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氣體捕集泵一共分為幾種形式
閱讀：757 發(fā)布時(shí)間：2021-11-8
氣體捕集泵使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。超低溫捕集泵則是解決問題的上佳選擇 。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
1)吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
2)吸氣劑泵
它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。
3)吸氣劑離子泵
它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
?、耪舭l(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
?、茷R射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
4)低溫泵
利用低溫表面捕集氣體的真空泵