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在使用油擴(kuò)散泵或分子泵的高真空環(huán)境中，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點(diǎn)的氣體，但機(jī)械泵抽除殘余氣體的能力低、時(shí)間長(zhǎng)。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。
水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領(lǐng)域及高真空獲得領(lǐng)域的主要危害氣體。
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長(zhǎng)流儀器VaporCold產(chǎn)品手冊(cè)
閱讀：144 發(fā)布時(shí)間：2022-04-26
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北京長(zhǎng)流科學(xué)儀器有限公司
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