目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>實(shí)驗(yàn)室氣體配比器>>氣體液體配比器>> 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比
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更新時(shí)間:2024-03-29 15:08:19瀏覽次數(shù):1612評(píng)價(jià)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境.
該 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)
7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備
8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所
產(chǎn)品型號(hào) | KT-C3Z |
產(chǎn)品類型 | 智能控制 觸摸屏控制 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 觸摸屏設(shè)定流量 |
時(shí)間設(shè)定 | 0-99999 |
數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | 有 |
程序控制 | 無 (可根據(jù)要求寫程序) |
壓力顯示 | 無 (可根據(jù)需求添加) |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類型 | 常開或常閉 |
溫度系數(shù) | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | <0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm) |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化學(xué)成分 | CrO thickness >20 Angstroms |
表面粗糙度 | 20µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 16KG |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)