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微型真空探針冷熱臺探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
該微型真空探針冷熱臺探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面最高可升溫到最高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié)，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm；y方向調節(jié)范圍：0－20mm；z方向調節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測
技術參數；
真空腔體 | ||
加熱型 | 冷熱型 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 | |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 | |
內腔體尺寸 | φ160x90mm | |
觀察窗尺寸 | Φ70mm | |
加熱臺尺寸 | φ60mm | |
觀察窗熱臺間距 | 75mm | |
加熱臺溫度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ | |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa | |
允許正壓 | ≤0.1MPa | |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 | |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 | |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 | |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數量 | 4探針 | |
探針材質 | 鍍金鎢針 | |
探針尖 | 10μm | |
探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 30mm ±15mm | |
X軸控制精度 | ≤0.01mm | |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm | |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm | |
電子顯微鏡 | ||
顯微鏡類別 | 物鏡 | |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 | |
工作間距 | 90mm | |
相機 | sony 高清 | |
像素 | 1920※1080像素 | |
圖像接口 | VGA | |
LED可調光源 | 有 | |
顯示屏 | 8寸 | |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm | |
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