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目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-Z1650PVD持久型小型濺射儀

持久型小型濺射儀
  • 持久型小型濺射儀
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  • 持久型小型濺射儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 鄭科探
  • 型號(hào) KT-Z1650PVD
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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更新時(shí)間:2024-03-27 15:04:05瀏覽次數(shù):1413評(píng)價(jià)

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同類(lèi)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

更多產(chǎn)品
靶材材質(zhì) 金 鉑 銅 銀 等 靶材尺寸 50mm
產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
濺射氣體 根據(jù)需求通氣 控制方式 觸摸屏智能控制
樣品倉(cāng)尺寸 φ160x160mm 樣品臺(tái)尺寸 50mm
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調(diào)節(jié),外接水冷機(jī)可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時(shí)間工藝記憶儲(chǔ)存。

持久型小型濺射儀

一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),

     磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類(lèi)損傷;

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電,其表  面帶有電子陷阱",  這種表面上的電子積累  被稱為充電"。為了  消除荷電效應(yīng),可在樣  品表面鍍一層金屬導(dǎo)電  層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電  通道,將充電電子從材  料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷  電效應(yīng)。在掃描電鏡成  像時(shí),濺射材料增加信  噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。637852830951780038369.jpg

持久型小型濺射儀廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口




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