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目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-Z1650PVD小型直流磁控濺射儀

小型直流磁控濺射儀
  • 小型直流磁控濺射儀
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 鄭科探
  • 型號(hào) KT-Z1650PVD
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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更新時(shí)間:2024-03-27 15:03:30瀏覽次數(shù):1423評(píng)價(jià)

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靶材材質(zhì) 金銀銅鎳鐵鉻等 靶材尺寸 φ50mm
產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 1-5萬
濺射氣體 氬氣 控制方式 觸摸屏控制
樣品倉(cāng)尺寸 φ160mm 樣品臺(tái)尺寸 50mm
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
小型直流磁控濺射儀,觸摸屏控制,時(shí)間調(diào)節(jié)電流控制功率,還可調(diào)節(jié)鍍膜時(shí)間,有工藝儲(chǔ)存功能方便下次使用和工藝一致

小型直流磁控濺射儀,

輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作

小型離子濺射儀信息由南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于小型離子濺射儀報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢

離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí),交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔,之后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體

。

。637527962092626767271.jpg

小型直流磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口










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