氦質(zhì)譜檢漏是設(shè)備出廠(chǎng)前密封性檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，采用氦氣作為示蹤氣體，通過(guò)質(zhì)譜儀檢測(cè)微量氦離子信號(hào)實(shí)現(xiàn)高精度泄漏定位。其靈敏度可達(dá)10?13Pa·m3/s量級(jí)，適用于航天器、新能源電池等高要求場(chǎng)景。檢測(cè)時(shí)通過(guò)真空或正壓模式（如噴吹法、吸槍法）快速定位漏點(diǎn)，自動(dòng)化系統(tǒng)可同步完成多工位檢測(cè)，效率提升50%以上。該技術(shù)能有效保障設(shè)備在高真空環(huán)境下的密封可靠性，已成為制造領(lǐng)域的質(zhì)量管控標(biāo)配。