產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
搭建BJT/MOS直流特性測試實驗需要哪些儀器?認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表, 半導(dǎo)體分立器件是組成集成電路的基礎(chǔ),包含大量的雙端口或三端口器件,如二極管,晶體管,場效應(yīng)管等。直流I-V測試是表征微電子器件工藝及材料特性的基礎(chǔ),通常使用I-V特性分析或I-V曲線來決定器件的基本參數(shù)。
BJT/MOS直流特性測試的主要目的是通過實驗幫助工程師提取半導(dǎo)體器件的基本I-V特性參數(shù),并在整個工藝流程結(jié)束后評估器件的優(yōu)劣。在半導(dǎo)體制程的多個階段都有應(yīng)用,如金屬互連,鍍層階段,芯片封裝后的測試等。
普賽斯儀表開發(fā)的BJT/MOS直流特性測試方案,由一臺或兩臺源精密源測量單元(SMU)、夾具或探針臺、上位機(jī)軟件構(gòu)成。以三端口 MOSFET 器件為例,配套以下設(shè)備:
兩臺 S 型數(shù)字源表
四根三同軸電纜
夾具或帶有三同軸接口的探針臺
三同軸T 型頭
需要測試的參數(shù):
輸出特性曲線
轉(zhuǎn)移特性曲線
跨導(dǎo) gm
擊穿電壓 BVDS
需要儀器列表:
SMU 源表
探針臺或夾具
普賽斯上位機(jī)軟件
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測控,微電子
電氣,自動化,機(jī)械
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