壓阻硅壓力傳感器的特點(diǎn)及應(yīng)用

在傳感器行業(yè)中，力、溫度、流量是應(yīng)用最為廣泛的幾種傳感器。在當(dāng)今快節(jié)奏的人類社會(huì)里，因科學(xué)及工程技術(shù)的高速發(fā)展，在不同的行業(yè)技術(shù)應(yīng)用中對(duì)經(jīng)典物理量的監(jiān)測(cè)相比以往都出現(xiàn)了更高的頻次和不同維度的應(yīng)用需求。在本文中，通過對(duì)壓阻式壓力傳感器技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)品的解析，就一些相關(guān)原理與概念做一個(gè)分享。

壓力傳感器

在測(cè)量上所稱“壓力”就是物理學(xué)中的“壓強(qiáng)”，反應(yīng)物質(zhì)狀態(tài)的一個(gè)重要參數(shù)。在壓力測(cè)量中，有表壓、絕壓（絕對(duì)壓力）、負(fù)壓、真空度之分。在工業(yè)中所用的壓力指示值大多為表壓，即絕對(duì)壓力和大氣壓力的差值，所以絕壓就是表壓和大氣壓的和。若測(cè)量壓力低于大氣壓，則稱為負(fù)壓或真空度。

測(cè)量壓力的傳感器在工作原理上分為壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器、壓磁式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、霍爾式壓力計(jì)等。

壓阻式壓力傳感器

半導(dǎo)體應(yīng)變片式傳感器在實(shí)際應(yīng)用中被稱為壓阻式壓力傳感器，壓阻式壓力傳感器在早期利用半導(dǎo)體應(yīng)變片粘貼在彈性體上制成。上世紀(jì)70年代后期，研制出了周邊固定的力敏電阻和硅膜一體化的擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器，克服了粘貼帶來的滯后、蠕變及固有頻率較低和集成化困難的缺點(diǎn)，且把應(yīng)變電阻條和誤差補(bǔ)償、信號(hào)調(diào)理等電路集成在一塊硅片上。

壓阻式壓力傳感器的主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)尺寸小、重量輕、易集成，擁有超高的靈敏度和分辨率，適合對(duì)微小壓力進(jìn)行檢測(cè)。但由于它采用半導(dǎo)體硅材料制成，對(duì)溫度敏感，如不采用溫度補(bǔ)償，溫度誤差會(huì)很大。

壓阻式壓力傳感器應(yīng)用

由于壓阻式壓力傳感器具備一系列優(yōu)點(diǎn)，在航天、航海、石油化工、醫(yī)療設(shè)備、氣象、軍事裝備中都得到了廣泛應(yīng)用。