壓阻硅壓力傳感器的特點及應(yīng)用

在傳感器行業(yè)中，力、溫度、流量是應(yīng)用最為廣泛的幾種傳感器。在當今快節(jié)奏的人類社會里，因科學及工程技術(shù)的高速發(fā)展，在不同的行業(yè)技術(shù)應(yīng)用中對經(jīng)典物理量的監(jiān)測相比以往都出現(xiàn)了更高的頻次和不同維度的應(yīng)用需求。在本文中，通過對壓阻式壓力傳感器技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)品的解析，就一些相關(guān)原理與概念做一個分享。

壓力傳感器

在測量上所稱“壓力”就是物理學中的“壓強”，反應(yīng)物質(zhì)狀態(tài)的一個重要參數(shù)。在壓力測量中，有表壓、絕壓（絕對壓力）、負壓、真空度之分。在工業(yè)中所用的壓力指示值大多為表壓，即絕對壓力和大氣壓力的差值，所以絕壓就是表壓和大氣壓的和。若測量壓力低于大氣壓，則稱為負壓或真空度。

測量壓力的傳感器在工作原理上分為壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器、壓磁式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、霍爾式壓力計等。

壓阻式壓力傳感器

半導體應(yīng)變片式傳感器在實際應(yīng)用中被稱為壓阻式壓力傳感器，壓阻式壓力傳感器在早期利用半導體應(yīng)變片粘貼在彈性體上制成。上世紀70年代后期，研制出了周邊固定的力敏電阻和硅膜一體化的擴散型壓阻式壓力傳感器，克服了粘貼帶來的滯后、蠕變及固有頻率較低和集成化困難的缺點，且把應(yīng)變電阻條和誤差補償、信號調(diào)理等電路集成在一塊硅片上。

壓阻式壓力傳感器的主要特點是結(jié)構(gòu)尺寸小、重量輕、易集成，擁有超高的靈敏度和分辨率，適合對微小壓力進行檢測。但由于它采用半導體硅材料制成，對溫度敏感，如不采用溫度補償，溫度誤差會很大。

壓阻式壓力傳感器應(yīng)用

由于壓阻式壓力傳感器具備一系列優(yōu)點，在航天、航海、石油化工、醫(yī)療設(shè)備、氣象、軍事裝備中都得到了廣泛應(yīng)用。