SEM5000X是一款超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

•超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

•高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì)，可搭配整體罩殼設(shè)計(jì)，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

•自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快，售后服務(wù)好，提供免費(fèi)的三年質(zhì)保無憂服務(wù)

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)