半導(dǎo)體測試儀器是一款能夠提供IV、CV、脈沖/動態(tài)IV等豐富功能的綜合分析儀，提供豐富的測量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試，并且具有測量可靠性和較高的測量效率。此外，模塊化體系結(jié)構(gòu)和10個空閑插槽允許您添加或升級測量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測量需求。軟件支持交互式手動操作或結(jié)合半自動晶圓探頭的自動操作，能夠在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個表征過程中實現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。配備數(shù)百種易于使用的測量(應(yīng)用測試)功能，允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征，并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動保存到內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))中，以確保不會遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些測量功能，提供了一款綜合的器件表征解決方案。
 

　　半導(dǎo)體測試儀器的結(jié)構(gòu)分析：
 

　　①光路接口盒：
 

　　內(nèi)置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；
 

　?、诠饴忿D(zhuǎn)向控制：
 

　　光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺等設(shè)備連用，可升級振鏡選項；
 

　?、勖饕晥鱿鄼C(jī)：
 

　　明視場相機(jī)代替目鏡；
 

　?、茱@微鏡：
 

　　正置科研級金相顯微鏡，標(biāo)配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級；
 

　?、蓦妱游灰婆_：
 

　　75mm*50mm行程高精度電動載物臺，1μm定位精度；
 

　?、薰饫w共聚焦耦合：
 

　　光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率；
 

　?、逤CD-狹縫共聚焦耦合：
 

　　標(biāo)配CCD-狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量；
 

　?、喙庾VCCD：
 

　　背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī)，200-1100nm工作波段，峰值QE>90%；
 

　?、?20mm光譜儀：
 

　　F/4.2高光通量影像校正光譜儀，1*10-5雜散光抑制比。