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詳細(xì)介紹
反射式膜厚測(cè)量?jī)x
SR系列反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。SR可用于測(cè)量2納米到3000微米的膜厚，測(cè)量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下，還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。
此外，SR還可用于測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠，實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量，每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù)，同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同時(shí)，客戶還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測(cè)量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測(cè)量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合.
產(chǎn)品型號(hào)和系統(tǒng)設(shè)置：
產(chǎn)品型號(hào) | A3-SR-100 |
產(chǎn)品尺寸 | W270*D217*（H90+H140） |
產(chǎn)品圖片 | |
測(cè)試方式 | 可見(jiàn)VIS 反射(R) |
波長(zhǎng)范圍 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 進(jìn)口 鎢鹵素?zé)?/span> 壽命10000小時(shí) |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER,進(jìn)口 )+進(jìn)口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
樣品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置) |
光學(xué)測(cè)量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）
測(cè)試方式 | 反射 |
膜厚測(cè)量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：
產(chǎn)品型號(hào) | A3-SR-100 |
厚度測(cè)量1 | 15nm - 100 um |
折射率1（厚度要求） | 大于100nm |
準(zhǔn)確性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測(cè)量，實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測(cè)量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測(cè)量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
檢測(cè)項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)型 |
層數(shù) | 10 層 |
材料 | 表格型和函數(shù)型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫(kù) | 表格型+函數(shù)型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測(cè)量 | 有 |
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