在傅里葉變換紅外光譜儀器中，干涉儀是儀器的心臟，它的好壞直接影響到儀器的心梗，因此有必要了解傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀以及改進(jìn)后的干涉儀的工作原理。
 

⑴傳統(tǒng)的麥克爾遜（Michelson）干涉儀：傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀系統(tǒng)包括兩個(gè)互成90度角的平面鏡、光學(xué)分束器、光源和檢測器。平面鏡中一個(gè)固定不動(dòng)的為定鏡，一個(gè)沿圖示方向平行移動(dòng)的為動(dòng)鏡。動(dòng)鏡在運(yùn)動(dòng)過程中應(yīng)時(shí)刻與定鏡保持90度角。為了減小摩擦，防止振動(dòng)，通常把動(dòng)鏡固定在空氣軸承上移動(dòng)。光學(xué)分束器具有半透明性質(zhì)，放于動(dòng)鏡和定鏡之間并和它們成45度角，使入射的單色光50%透過，50%反射，使得從光源射出的一束光在分束器被分成兩束：反射光A和透射光B。A光束垂直射到定鏡上；在那兒被反射，沿原光路返回分束器；其中一半透過分束器射向檢測器，而另一半則被反射回光源。B光束以相同的方式穿過分束器射到動(dòng)鏡上；在那兒同樣被反射，沿原光路返回分束器；再被分束器反射，與A光束一樣射向檢測器，而以另一半則透過分束器返回原光路。A、B兩束光在此會(huì)合，形成為具有干涉光特性的相干光；當(dāng)動(dòng)鏡移動(dòng)到不同位置時(shí)，即能得到不同光程差的干涉光強(qiáng)。

 

⑵改進(jìn)的干涉儀：干涉儀是傅里葉光譜儀最重要的部件，它的性能好壞決定了傅里葉光譜儀的質(zhì)量，在經(jīng)典的麥克爾遜干涉儀的基礎(chǔ)上，近年來在提高光通量、增加穩(wěn)定性和抗震性、簡化儀器結(jié)構(gòu)等方面有不少改進(jìn)。

 

傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀工作過程中，當(dāng)動(dòng)鏡移動(dòng)時(shí)，難免會(huì)存在一定程度上的擺動(dòng)，使得兩個(gè)平面鏡互不垂直，導(dǎo)致入射光不能直射入動(dòng)鏡或反射光線偏離原入射光的方向，從而得不到與入射光平行的反射光，影響干涉光的質(zhì)量。外界的振動(dòng)也會(huì)產(chǎn)生相同的影響。因此經(jīng)典的干涉儀除需經(jīng)十分精確的調(diào)整外，還要在使用過程中避免振動(dòng)，以保持動(dòng)鏡精確的垂直定鏡，獲得良好的光譜圖。為提高儀器的抗振能力，Bruker公司開發(fā)出三維立體平面角鏡干涉儀，采用兩個(gè)三維立體平面角鏡作為動(dòng)鏡，通過安裝在一個(gè)雙擺動(dòng)裝置質(zhì)量中心處的無摩擦軸承，將兩個(gè)立體平面角鏡連接。

 

三維立體平面角鏡干涉儀的實(shí)質(zhì)是用立體平面角鏡代替了傳統(tǒng)干涉儀兩干臂上的平面反光鏡。由立體角鏡的光學(xué)原理可知，當(dāng)其反射面之間有微小的垂直度誤差及立體角鏡沿軸方向發(fā)生較小的擺動(dòng)時(shí)，反射光的方向不會(huì)發(fā)生改變，仍能夠嚴(yán)格地按與入射光線平行的方向射出。由此可以看出，采用三維立體角鏡后，可以有效地消除動(dòng)鏡在運(yùn)動(dòng)過程中因擺動(dòng)、外部振動(dòng)或傾斜等因素引起的附加光程差，從而提高了一起的抗振能力和重復(fù)性。